Occasion MATRIX System One 105 #9293401 à vendre en France
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ID: 9293401
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 1991
Asher, 4"-6"
Si and GaAs,
Square substrates, 4.5"
RF 100 - 500 V
Auto-tune
Maximum watts: 600 W, 13.56 MHz
Special chuck: 70 mm - 150 mm
Special chuck wafers: 50 mm
Adjustable cassette platform
TYLAN Butterfly valve
Capacitance manometer
Temperature control:
Wafer chuck
Closed loop
Resistive element heated
Perimeter
Draw pump ring grooved
Chuck: 150°C - 250°C, (+5°C)
Descum: 70°C -150°C, (+5°C)
At > 250 W
Plasma chamber: Side shooter gas inlet
Electrode design: Meshed electrodes
Clamped dual quartz baffle design
Base plate cooling
Throughput: >35 WPH
Process gases: O2 and N2 (MFC Optional)
Strip rate, 6"
Baked resist: 1.2µ
120°C > 1.2 µ/min at 250° C
Repeatability ±10%
Non-uniformity 1 Sigma: < 5%
Particulates added: <0.10 cm²
Size: >0.2 mm
Descum: +10%, 1 Sigma
Minimum vacuum pump speed: 32 CFM
Reliability:
Availability: > 95%
MTBF: > 450 Hours
MTBA: > 24 Hours
MTTR: < 4 hours
No wafer cooling station
1991 vintage.
MATRIX Equipment One 105 est un graveur/asher conçu pour la finition métallique, le matériau dur et doux, la préparation de surface, le marquage, la gravure et l'étiquetage. Il fonctionne comme une machine de précision qui fournit un large éventail d'applications. Le contrôleur intégré utilise des commandes de B&R PLC2, qui fournissent l'opération fiable, exacte et rapide aussi bien qu'une large variété de fonctions. Cela garantit le bon fonctionnement de l'graveur/asher avec très peu d'entretien requis. Le contrôleur autonome fonctionne lui-même et peut être surveillé via une interface PC incluse. Il est ainsi facile de programmer et de configurer le système, ce qui permet de traiter les lots et de répéter les opérations. L'unité est capable de graver/cacher tous les matériaux avec une large gamme d'épaisseurs. Il peut traiter des matériaux souples et durs, tels que l'acier inoxydable, l'aluminium, le laiton, le plastique, le verre et d'autres composites. La surface de travail horizontale de la machine permet aux utilisateurs de traiter des feuilles de matériau jusqu'à 1000mm x 800mm de taille. La poutre transversale permet de changer jusqu'à cinq outils rapidement et est motorisée pour un réglage facile pendant les projets. L'unité dispose d'une gamme de fonctionnalités qui font qu'il est facile pour les utilisateurs de mettre en place et de fonctionner. Il dispose d'alarmes auto-diagnostiques de mémoire embarquées, qui alertent les utilisateurs des erreurs, leur permettant de prendre des mesures correctives rapidement. Il est également livré avec des protecteurs de sécurité qui assurent que les matériaux en cours de traitement et l'opérateur sont sûrs. L'ensemble de l'outil est compatible VDE/GS- et DIN pour la sécurité. L'unité utilise une combinaison de systèmes laser à diodes UV et IR, lui permettant d'obtenir des résultats de grande précision avec un taux d'utilisation de matériaux élevé. La source laser UV permet aux utilisateurs de traiter les plastiques, tandis que l'actif laser IR permet aux utilisateurs de traiter les métaux et le verre. Il y a six postes de chef de travail permettant un traitement simultané et rapide. Les multiples modèles de pool du matériau cible simplifient le traitement et atteignent une finition de surface uniforme. Le modèle est construit avec une conception de faible entretien, permettant des opérations sûres et efficaces avec un minimum de temps d'arrêt. MATRIX Equipment One est un graveur/asher puissant qui peut fournir des délais d'exécution rapides et des résultats finaux de haute qualité. Cela le rend idéal pour une utilisation dans une variété d'applications de fabrication et d'ingénierie, offrant commodité, vitesse et précision.
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