Occasion MATRIX System One 302 #9201781 à vendre en France
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ID: 9201781
Taille de la plaquette: 6"
Etchers, 6"
Electro-mechanical production system:
Nitride
Oxide
Polysilicon
Chemical reaction induced by a gas plasma
Etching main console module:
Process
Operator interface
Wafer transport
Card reader
Elevator
Microprocessor control
Etching power supply console:
RF Generator
DC Supply
AC Distribution
Gas distribution panel
Temperature / Pressure control
Physical specifications:
Main console Power supply Console overall
Width 25″ 25″ 25″
Depth 28″ 28″ 28″
Height 22″ 36″ 58″
Weight 100 lbs 310 lbs 410 lbs.
MATRIX Equipment One 302 est un graveur/asher avancé conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil de pulvérisation à haute fréquence entièrement automatisé, capable de produire des dépôts de haute qualité de couches minces. Le 302 est monté sur des systèmes robotiques autonomes ou automatisés, et est contrôlé par une interface utilisateur graphique (UI) conviviale, permettant une personnalisation flexible des paramètres pour le processus de gravure/cueillette. Le système One 302 dispose d'un générateur interne haute fréquence (HFA) pour produire l'ionisation et le bombardement nécessaires à une gravure/cueillette efficace. L'unité est capable de fournir une puissance RF allant jusqu'à 3KW à la surface cible, et dispose d'un contrôle précis de la pression et de la température. La densité du plasma ionisé est réglable, ainsi que le rendement de pulvérisation, créant un processus très réactif. La 302 est équipée d'outils avancés pour surveiller et analyser le processus. Il s'agit notamment d'un analyseur multi-canaux entièrement programmable (MCA) et d'un collecteur de réseau avancé (ACC) pour mesurer et analyser les performances du processus de gravure/cueillette. La machine offre également un stockage et un archivage sécurisés des données jusqu'à 5 Go, permettant un post-traitement efficace des données générées. MATRIX Tool One 302 est conçu pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs, et possède un certain nombre de caractéristiques avancées telles que un rendement de pulvérisation élevé et un contrôle précis du processus de gravure/ashing. Ce graveur/asher est capable de produire des couches minces de particules métalliques de haute qualité et cohérentes, et offre un contrôle de procédé et une fiabilité supérieurs. Le 302 est facile à utiliser et à entretenir, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements exigeants de production de semi-conducteurs.
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