Occasion MATTSON 165-91000-00 #293671335 à vendre en France

MATTSON 165-91000-00 est un équipement avancé de gravure ou d'asher pour la photolithographie. Il dispose d'un système de débit de gaz réglable pour optimiser les conditions de processus pour des résultats répétables. Le graveur utilise un mandrin annulaire horizontal avec une plaque de finition flottante pour réduire la topographie. L'unité de distribution de gaz est équipée de lignes de silice valvées avec des orifices réglables pour fournir un flux de gaz directionnel, pour une plus grande répétabilité des profils de gravure, et l'uniformité des profils de bord. La machine comprend également des fours de diffusion de chauffage de substrat en quartz de haute qualité, avec un contrôle précis de la température pour les profils de température répétables, et un faible choc thermique pour le substrat. L'outil de détection du point d'extrémité de capacité est intégré à l'actif, avec une option de fonctionnement manuel et automatique. Le modèle peut également être interfacé avec d'autres systèmes de contrôle des processus, tels que Job Controllers et MES pour maximiser le contrôle et la surveillance des processus. En termes de capacités de processus, 165-91000-00 est conçu pour fournir une gravure de précision de pratiquement n'importe quel substrat, y compris le silicium, le quartz, la céramique, l'aluminium et le verre. En outre, l'équipement peut déposer et graver des métaux, tels que l'or, le cuivre, le chrome et le palladium, pour des applications à haute résolution. Le système a une large gamme de processus, permettant de graver des profondeurs de 3 μ m à 18 μ m. Il dispose également d'une large fenêtre de processus pour permettre l'accord de la vitesse de gravure pour des résultats de gravure optimaux pour diverses applications. MATTSON 165-91000-00 offre également d'excellents outils de répétabilité des processus et de contrôle statistique des processus, tels que les graphiques RCP. Il dispose également d'un logiciel de processus embarqué avec des recettes, un suivi en temps réel des paramètres du processus, une analyse des tendances du processus, un contrôle statistique des processus et un stockage des données du processus. L'unité est construite en téflon et en acier inoxydable, ce qui la rend extrêmement durable et résistante à la corrosion. Toutes les connexions en verre et en silice sont étanches, et la machine dispose d'une conduite de gaz auto-nettoyante. En outre, l'outil est livré avec des caractéristiques de sécurité avancées, ainsi que le chargement de venturi et la manipulation des plaquettes de 4 ". Dans l'ensemble, 165-91000-00 est un actif avancé de gravure/asher qui fournit une gravure précise de pratiquement n'importe quel substrat à haute résolution. Il offre une excellente répétabilité des processus et des outils statistiques de contrôle des processus avec des caractéristiques de sécurité avancées et une manipulation des plaquettes de 4 ". Le modèle est construit en téflon et en acier inoxydable, ce qui le rend extrêmement durable et résistant à la corrosion. L'équipement de distribution de gaz fournit un flux de gaz directionnel, assurant des profils de gravure répétables et l'uniformité des profils de bord.