Occasion MATTSON Aspen II #293619551 à vendre en France
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ID: 293619551
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2007
ICP System, 6"
2007 vintage.
MATTSON Aspen II etcher/asher est un équipement de pointe utilisé pour le cuivre, l'aluminium et d'autres procédés de gravure et de cendrage métalliques. Il est conçu pour offrir des avantages à une multitude d'industries, y compris les emballages semi-conducteurs, les PCB et les MEMS. Il est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 8 po de diamètre, avec une taille maximale de gravure/chambre de cendres de 26 po x 13,5 po x 10 po. Aspen II est équipé d'un système de vide numérique, permettant de contrôler la pression et la température. Cette gestion numérique de la pression permet à l'unité de maintenir une atmosphère de processus optimale, avec une large gamme de Chimistries. La machine à vide numérique assure également une uniformité de traitement uniforme pour chaque recette. MATTSON Aspen II est également équipé d'un point d'extrémité programmable, qui permet de définir des paramètres de fonctionnement prédéfinis pour chaque recette, de sorte qu'un cycle de gravure/cendres précis peut être effectué à chaque fois. Cela garantit des résultats reproductibles indépendamment de l'opérateur, de la taille du lot ou des conditions de traitement. La chambre de procédé d'Aspen II présente des parois perforées, assurant une répartition uniforme des gaz de procédé et des chimiographies de gravure, tout en permettant une large gamme de taux de gravure en aval. Cette conception de mur perforé améliore également la capacité de nettoyage du graveur/asher, entraînant une chambre propre entre les cycles de processus. MATTSON Aspen II dispose d'un générateur RF multi-zones, permettant une combinaison de temps de cuisson répétables et d'une puissance suffisante pour répondre à votre demande spécifique. Aspen II dispose également d'un cycle d'auto-purge avancé, qui permet une récupération rapide après le processus et des performances répétables de gravure/cendres. En plus des capacités de gravure/cendres, MATTSON Aspen II est capable d'effectuer un large éventail d'opérations post-processus, telles que le placage électrochimique, la prévention de la corrosion et le revêtement. Aspen II etcher/asher fournit une plate-forme de traitement robuste et fiable, avec un contrôle et une répétabilité améliorés des processus. Il offre également une large gamme d'options post-processus, permettant un traitement de bout en bout ou autonome dans un seul outil.
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