Occasion MATTSON Aspen II #9155758 à vendre en France

Fabricant
MATTSON
Modèle
Aspen II
ID: 9155758
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Dual chamber asher, 8" Configuration: Cool down: Yes Process chamber 1: Yes Process chamber 2: Yes Load lock manometer: Yes Chamber manometer: Yes Settle manometer: Yes Software version: 5.56E Software type: QNX Temp control: Watlow, Uroterm Chamber Configuration: Chamber type: Triode RFPP: RF10S RF Match: RFS 1000 MFC O2: Yes MFC C2F6: Yes MFC CF4: Yes Heater block: Horizontal vertical and Circular grove Light tower: Yes Power: 120/208 VAC, 10A 1PH/3PH 50/60HZ 5 Wire 1996 vintage.
MATTSON Aspen II est un graveur/asher avancé conçu pour être utilisé dans un certain nombre de processus, allant du traitement de substrat à la formation finale de motifs. Il est capable de graver et de soutirer des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre sur un équipement non distant à cinq plateaux. Le système dispose d'un chargeur et d'un aligneur entièrement automatisés, ce qui élimine le besoin de chargement et d'alignement manuel. Pour encore plus de commodité, il peut être connecté à un chargeur robot standard de l'industrie. La conception unique d'Aspen II lui permet de fournir un débit élevé avec une variation de processus minimale et une uniformité de produit exceptionnelle. Ses chambres de processus à double zone assurent un contrôle indépendant des paramètres du processus, ce qui permet à l'unité d'atteindre des taux de processus plus élevés. La machine est également équipée d'un outil réglable de contrôle de la température de la plaquette, contribuant à minimiser les défauts causés par les fluctuations de température du substrat. En plus de ses temps de traitement rapides, MATTSON Aspen II fournit également une gravure plasma précise et un traitement de haute qualité. L'actif est optimisé pour les applications de gravure et d'ashing et utilise des recettes avancées pour garantir des processus de gravure et d'ashing de haute qualité. Cela est également facilité par des ouvertures de taille variable en option pour les caractéristiques de taille minimale et son maillage haute résolution pour le maillage précis. Le modèle comporte également plusieurs dispositifs de sécurité pour protéger les exploitants contre les dangers potentiels. Cela comprend des capteurs infrarouges pour détecter les cassettes ouvertes ou endommagées et un mécanisme d'auto-désactivation pour les serrures et les systèmes de chargement manuel. Aspen II est un appareil polyvalent, offrant des performances robustes, un contrôle précis et une description précise pour une gamme de processus de gravure et de cueillette. Sa conception simple et conviviale permet une configuration et un fonctionnement faciles, ce qui en fait un choix idéal pour la recherche, le développement et la production.
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