Occasion MATTSON Aspen II #9230723 à vendre en France
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ID: 9230723
Taille de la plaquette: 8"
ICP System, 8"
Wafer type: Silicon
Chamber type:
Rear chamber: ICP Chamber
Cool chamber
Mainframe options:
Cassette nest: SMIF Cassette nest
Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF
Paddle selection: Adjustable paddle
Panel / Skin color: White
Sub-frame: Tall frame
Light tower: Pole mount, (4) colors
Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon
Paddle O-rings: KALREZ
Slotted groove slit door type without regulators
Loadlock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
Hinged cooldown chamber
Cooling chamber skin
Remote operator interface panel
Rapid cassette exchange
System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO
No wafer mapping
No secondary interface PCB
SMIF Option
PCB Part: V VERSA COM +4
No robot safety enclosure
SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4
Gas panel type:
Top of short frame
Cabinet with door
Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator
Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork
Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard
Shrouded locking EMO type
EMO Button guard ring
Panel interlock options: Mechanical interlock switch
Chamber configurations:
Temperature control: Watlow temperature control panel standard
ACX 1201 Pressure control with ext PS
No MATTSON endpoint system
MFC Type: MFC on Core
MFC Cal gas: N2
Gas delivery options:
Gas 1 / 10000 / O2
Gas 2 / 200 / CF4
Gas 3 / 5000 / N2
RF Components:
RF Match: TRAZAR AMU10-D2
(2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators
Generator type: ENI OEM12B
Power supply: 208 V, Single phase
Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens
MFC With core chamber
Installed:
Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline
HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter
Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00
Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00
Pneumatic manifold (4) stations:
2-4 Ports (Middle)
3-8 Ports (Lower)
Regulators, 0-150 PSI
With gauge for slit doors & lift pins up / Down
Power supply:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors
AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase
CE Marked.
MATTSON Aspen II est un outil de gravure et d'ashing spécialement conçu pour l'intégration avancée des processus. Il est doté d'une flexibilité de procédé et d'un débit élevé, ce qui le rend idéal pour la recherche, le développement et la fabrication d'appareils. Aspen II dispose de nombreux modules de processus uniques qui sont facilement intégrés dans l'alignement, y compris les modules de trempe, d'évaporation et de gravure. Le module de trempe est contrôlé par pulsation haute fréquence, permettant un contrôle de précision des paramètres du processus. Le module d'évaporation utilise une source de chauffage RF à haut débit et à haut rendement énergétique pour le dépôt par évaporation de matériaux. Le module de gravure dispose d'un équipement de chargement en courant continu libre et optionnel pour la gravure et le cendrage en courant continu, ainsi que de programmes de pré-gravure à grande vitesse et de post-traitement doux. MATTSON Aspen II est conçu avec une large gamme de configurations et de plages de température. Sa source d'injection de gaz System™ est capable de délivrer des gaz à travers une gamme de processus étalonnés et uniformes. L'unité de vide multi-ionisé intégrée crée un environnement propre et à basse pression sur une gamme d'étapes de processus. Toutes les chambres sont accessibles et interchangeables, assurant la flexibilité des processus et un débit élevé. Le panneau de contrôle intuitif d'Aspen II est conçu pour assurer un excellent contrôle de l'ensemble du processus et permet une collecte et un reporting faciles. Le logiciel MATTSON fournit également une gestion personnalisée des données et des recettes pour divers processus. L'interface avancée avec écran tactile permet une navigation facile de la machine, permettant l'accessibilité même pour les utilisateurs novices. MATTSON Aspen II est la solution idéale pour l'intégration intégrée et avancée des processus. Doté d'un débit élevé, d'une flexibilité de processus, d'une gestion facile des données et des recettes, d'un accès facile et d'un large éventail de configurations, il est l'outil idéal pour des applications de production ou de recherche.
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