Occasion MATTSON Aspen II #9230723 à vendre en France

MATTSON Aspen II
Fabricant
MATTSON
Modèle
Aspen II
ID: 9230723
Taille de la plaquette: 8"
ICP System, 8" Wafer type: Silicon Chamber type: Rear chamber: ICP Chamber Cool chamber Mainframe options: Cassette nest: SMIF Cassette nest Operator interface: Operator interface, 18" with SMIF Paddle selection: Adjustable paddle Panel / Skin color: White Sub-frame: Tall frame Light tower: Pole mount, (4) colors Wafer sensors: Cassettes & paddle sensors standard silicon Paddle O-rings: KALREZ Slotted groove slit door type without regulators Loadlock manometer: 100 Torr Shuttle manometer: 1000 Torr Hinged cooldown chamber Cooling chamber skin Remote operator interface panel Rapid cassette exchange System skins for sub-frame & AGV: Standard skins for TALL sub-frames with EMO No wafer mapping No secondary interface PCB SMIF Option PCB Part: V VERSA COM +4 No robot safety enclosure SECS / GEM-1 Interface: VERSA COM +4 Gas panel type: Top of short frame Cabinet with door Gas panel facilities: Bottom gas feed with CDA regulator Mainframe exhaust options: Ceiling exhaust flange for external hookup & ductwork Vacuum fitting connections: KF50 Vacuum connections standard Shrouded locking EMO type EMO Button guard ring Panel interlock options: Mechanical interlock switch Chamber configurations: Temperature control: Watlow temperature control panel standard ACX 1201 Pressure control with ext PS No MATTSON endpoint system MFC Type: MFC on Core MFC Cal gas: N2 Gas delivery options: Gas 1 / 10000 / O2 Gas 2 / 200 / CF4 Gas 3 / 5000 / N2 RF Components: RF Match: TRAZAR AMU10-D2 (2) RF Generator racks: ENI / RFPP / ADTEC class B generators Generator type: ENI OEM12B Power supply: 208 V, Single phase Cable length: 60" RF Cables with cesar 1312 gens MFC With core chamber Installed: Heater jackets on isolation valve, throttle valve & foreline HEPA Mini-environment with blower & ULPA filter Bracket sensor lift pin (Up / Down), 062-00017-00 Bracket sensor side slit door (Bottom / Upper), 053-00018-00 & 053-00011-00 Pneumatic manifold (4) stations: 2-4 Ports (Middle) 3-8 Ports (Lower) Regulators, 0-150 PSI With gauge for slit doors & lift pins up / Down Power supply: Line frequency: 50/60 Hz Line voltage: 200/208 VAC, 3 Phase, 60 Amp, (5) Conductors AC Power: Mainframe AC box, 208 V, Single phase CE Marked.
MATTSON Aspen II est un outil de gravure et d'ashing spécialement conçu pour l'intégration avancée des processus. Il est doté d'une flexibilité de procédé et d'un débit élevé, ce qui le rend idéal pour la recherche, le développement et la fabrication d'appareils. Aspen II dispose de nombreux modules de processus uniques qui sont facilement intégrés dans l'alignement, y compris les modules de trempe, d'évaporation et de gravure. Le module de trempe est contrôlé par pulsation haute fréquence, permettant un contrôle de précision des paramètres du processus. Le module d'évaporation utilise une source de chauffage RF à haut débit et à haut rendement énergétique pour le dépôt par évaporation de matériaux. Le module de gravure dispose d'un équipement de chargement en courant continu libre et optionnel pour la gravure et le cendrage en courant continu, ainsi que de programmes de pré-gravure à grande vitesse et de post-traitement doux. MATTSON Aspen II est conçu avec une large gamme de configurations et de plages de température. Sa source d'injection de gaz System™ est capable de délivrer des gaz à travers une gamme de processus étalonnés et uniformes. L'unité de vide multi-ionisé intégrée crée un environnement propre et à basse pression sur une gamme d'étapes de processus. Toutes les chambres sont accessibles et interchangeables, assurant la flexibilité des processus et un débit élevé. Le panneau de contrôle intuitif d'Aspen II est conçu pour assurer un excellent contrôle de l'ensemble du processus et permet une collecte et un reporting faciles. Le logiciel MATTSON fournit également une gestion personnalisée des données et des recettes pour divers processus. L'interface avancée avec écran tactile permet une navigation facile de la machine, permettant l'accessibilité même pour les utilisateurs novices. MATTSON Aspen II est la solution idéale pour l'intégration intégrée et avancée des processus. Doté d'un débit élevé, d'une flexibilité de processus, d'une gestion facile des données et des recettes, d'un accès facile et d'un large éventail de configurations, il est l'outil idéal pour des applications de production ou de recherche.
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