Occasion MATTSON Aspen II #9246107 à vendre en France
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Vendu
ID: 9246107
Taille de la plaquette: 8"
ICP Asher, 8"
Dual chamber system
Upgraded gas panel
Quartz ware
Chamber side and back:
Front end:
26" With separate operator interface
4-Color light tower
TFT Design monitor
Load locks:
Single L/L
(2) Cassette stations
Capability of queuing lots
Load lock seal: Lip seal (Non bellow)
Platform: 4 x 25 Slot cassette
Rotating cassette nests, 8"
Cool down station without circular groove pattern
Transfer robot:
Main robot: MATTSON 3-Axis robot
Robot arm: 4-Adjustable paddles standard
Slit door
Process module configuration:
Electrode configuration: Electrical heater with backing plate
Tube type: Quartz tube
Standard process window
ICP Chamber O-Ring type: Fluorosilicone
Temperature controller: WATLOW EZ Zone
Grids / Guide rings: Extended guide rings
Pressure controller:
VAT Valve Pressure controller
Chamber manometer: 10 Torr
Load lock manometer: 100 Torr
Shuttle manometer: 1000 Torr
RF/ MW System:
RF System: Top RF, 13.56 MHz
RF Generators
RF Top match: TRAZER 914-92003-00 (TRAZAR AMU 10D-2)
Gas system:
Chamber peripherals and gas line option: (4) Gas configuration back and side chambers
Gas 1: O2 - 5000 sccm
Gas 2: CF4 - 100 sccm
Gas 3: N2 - 1000 sccm
Gas 4: N2/H2 (4%) - 1000 sccm
MFC 1 to 4: BROOKS GF Series
Endpoint detection system: MATTSON Endpoint system with fixed filters
Cable length RF / Signal / Power: 19ft.
MATTSON Aspen II est un système multi-fonctionnel de graveur/asher conçu pour fournir des fonctionnalités de gravure/ashing de précision. Aspen II offre une série de capacités avancées, qui en font la solution idéale pour une variété de processus de gravure/cueillette de précision. Les principales caractéristiques de MATTSON Aspen II comprennent une construction robuste conçue pour offrir une durabilité et des performances constantes, une résolution monochromatique allant jusqu'à 0,1 um, un contrôle de processus avec une interface tactile couleur complète, et une gamme d'options de mémoire embarquée pour stocker les configurations de processus et les recettes. Il en résulte un graveur/asher très fiable et convivial. L'Aspen II est conçu pour une utilisation facile et est équipé de plusieurs fonctionnalités pour garantir des performances précises et reproductibles. Son contact sensible à la hauteur de l'axe Z assure un contact régulier et précis de la pointe des pièces gravées avec le substrat. Il en résulte une excellente qualité de gravure qui est très fiable et constamment répétable. En outre, il est équipé de la technologie « surface tracking » qui permet de détecter les changements dans la hauteur de la surface de gravure, permettant à MATTSON Aspen II d'ajuster automatiquement la profondeur de gravure ou de cendre en conséquence. Il en résulte un résultat cohérent et même à chaque fois. Aspen II est équipé d'une gamme de composants pour garantir des résultats précis et reproductibles lors de la gravure sur pièces métalliques. Il s'agit notamment d'un changeur d'outil d'auto-indexation à 9 positions intégré, d'un alignement automatique du substrat, de recettes d'anodisation pour l'anodisation sélective, de bouchons à contacts multiples pour la détection des bords du substrat et de paramètres à l'écran pour le contrôle des processus. Toutes ces caractéristiques garantissent une finition uniforme et précise à chaque fois, quel que soit le métal utilisé. MATTSON Aspen II est conçu pour une intégration facile dans les processus automatisés. Son entretien extrêmement ferme, bas 5000V/4000W la source de courant continu garantit la performance repeatable et fiable et elle peut être intégrée dans pratiquement tout processus automatisé. En outre, il dispose d'une gamme de logiciels propriétaires et de firmware qui est conçu pour rendre le contrôle et la surveillance des processus plus efficaces, précis et reproductibles. Aspen II est la solution idéale pour quiconque recherche une solution de graveur/asher fiable, répétable et facile à utiliser. Ses capacités avancées et ses performances très fiables et constantes en font la solution idéale pour une variété d'applications de gravure/cueillette de précision. La gamme de fonctionnalités logicielles et matérielles de MATTSON Aspen II garantit à chaque fois d'excellents résultats de gravure, et ses robustes capacités de construction et de contrôle automatisé des processus en font une solution idéale pour les utilisateurs industriels à la recherche de résultats fiables et d'un fonctionnement simplifié.
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