Occasion MATTSON Aspen II #9401067 à vendre en France

Fabricant
MATTSON
Modèle
Aspen II
ID: 9401067
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Dryer, 8" ICP Chamber Chamber Process: Ashing GEM and SESC Interface Cool down chamber Cassette stage Transfer robot AC Power box Signal tower (2) ADVANCED ENERGY CESAR1312 RF Generators DC and AC Power supply Chuck type: Standard MILLIPORE Manometor Chamber Pump Gate valve Thermocuple Heater Pressure switch Board (3) Control boxes Power tap Hard disk Throttle valve EMO Pipes Cable LCD Monitor Control panel PC Included Missing parts: Robot blade Robot extention geneva Robot extention gear Robot rotation genva Robot rotation gear Robot motor Side slit door Shattle pressure gauge Shattle chamber slit door Shattle motor Power supply: 208 V 1994 vintage.
MATTSON Aspen II est un appareil électrochimique de pointe conçu pour une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système dispose d'une électronique de pointe pour le contrôle précis des processus de gravure et de cueillette, permettant des couches plus planes et plus épaisses sur de vastes substrats. Il est équipé d'un bain sans tuyère avancé, qui permet un contrôle précis et précis du processus de décapage, permettant des résultats prévisibles et reproductibles. De plus, la machine auto-nettoyante intégrée maintient l'outil en fonctionnement à des performances maximales en éliminant automatiquement l'accumulation de contamination. L'actif est conçu pour être fiable et efficace, de sa solution innovante sans tuyère à ses capacités de gravure rapide. Aspen II est capable de traiter jusqu'à 50 plaquettes par heure à une température maximale de 475 ° F et peut être utilisé pour une variété de matériaux, y compris le silicium, l'aluminium, le tungstène et le titanate. L'interface logicielle intégrée permet aux utilisateurs d'optimiser les paramètres et d'ajuster les paramètres du modèle pour un fonctionnement efficace. En outre, il offre une solution écologique, limitant les émissions de solvants, grâce à sa pompe à vide à haut rendement et ses capteurs de débit de gaz. Cela permet de s'assurer que les processus de gravure et d'ashing sont conformes aux règlements en matière d'environnement et de sécurité. La conception innovante de MATTSON Aspen II facilite également la maintenance, permettant un accès facile à tous les composants internes. De plus, le contrôleur de l'équipement gère le processus de gravure de la source au substrat, moyennant une vitesse de dépôt et d'élimination précise et répétable. En outre, le système de distribution de gaz de précision assure des flux de gaz précis et uniformes pour des processus de gravure et de cueillette optimisés, contribuant à réduire les variations de processus et à obtenir de meilleurs résultats. Aspen II est un appareil électrochimique/asher puissant et fiable. Il fournit un contrôle précis et répétable pour les processus de gravure et de cueillette, ce qui donne des couches plus plates et plus épaisses sur des substrats de grande portée. De plus, l'électronique sophistiquée de la machine garantit des performances fiables et efficaces, tandis que son outil auto-nettoyant intégré et ses capteurs de débit de gaz garantissent le respect des réglementations environnementales et de sécurité. De plus, sa conception innovante permet un entretien facile et une livraison précise du gaz, ce qui donne des résultats supérieurs avec une variation de processus minimale.
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