Occasion MATTSON Aspen III Lite #9390391 à vendre en France

MATTSON Aspen III Lite est un graveur/asher de forme d'onde unique tout-en-un pour le traitement intégré des dispositifs de plaque à semi-conducteur. Il s'agit d'une solution compacte et économique conçue pour répondre aux besoins de la recherche et du développement (R-D) de fabrication et de recherche de dispositifs semi-conducteurs. La précision de sa technologie monoforme d'onde est capable de produire des caractéristiques de gravure et d'ashing précises dans une faible empreinte, offrant une excellente résolution et précision. Aspen III Lite est construit avec une source lumineuse stable et uniforme ultra violette qui est capable de générer une largeur de ligne minimale de 50nm avec un contrôle précis de la profondeur. Il est capable de supporter une grande variété de types de masques dont le chrome, le silicium polycristallin et le nitrure. L'équipement est équipé d'un moniteur submicronique, à base de quartz, sans contact, sans réflexion pour l'acquisition et la surveillance précises des données de processus. Les données peuvent être extraites avec précision en temps réel en plus d'être stockées dans la machine pour une analyse ultérieure. MATTSON Aspen III Lite est équipé de composants électromécaniques qui aident à réduire la dérive et à maintenir la précision sur toute sa gamme de traitement thermique. Cela comprend une alimentation en lampe excimère à haute température, un système de régulation de la température en boucle fermée et une unité de gravure d'entraînement de capacité. Il a transfert d'aluminium dans la chambre de procédé, ce qui le rend adapté pour les tailles de plaquettes de 3 « à 8 ». Aspen III Lite supporte de multiples processus de gravure/cueillette, y compris VLE (gravure du niveau de vide), iSLE (gravure locale in situ), Wet Ash, PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amplifié par plasma) et ECR (résonance cyclotron électronique). Il est équipé d'une capacité de traitement des plaquettes de grande surface qui est intégrée dans une chambre conçue sur mesure. Il peut supporter jusqu'à cinq (5) processus simultanément, et jusqu'à cinq (5) recettes peuvent être stockées dans la mémoire. La sécurité est assurée à toutes les étapes du processus avec l'utilisation d'alarmes et d'interceptions pour arrêter les opérations en cas de défaillance. En outre, MATTSON Aspen III Lite est protégé des interférences extérieures avec les transformateurs d'isolement galvanique pour les lignes de signal entre le bus VME et la commande du conducteur. Cela garantit que les systèmes de communication et de contrôle embarqués restent intacts et fonctionnent en état idéal. La machine est facile à utiliser avec des interfaces opératoires intuitives et offre une gamme complète de services de support pour l'installation, l'application et la maintenance. MATTSON fournit également des outils logiciels pour l'enregistrement des données et la traçabilité des plaquettes, permettant aux utilisateurs d'avoir un contrôle total sur leurs processus de gravure/ashing.