Occasion MATTSON Aspen III #9190468 à vendre en France
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Vendu
ID: 9190468
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Light etcher, 12"
No multiple level security
No pressure pascal unit
No TM pump share
Maximum forward RF power (Set point and read back) head A to F: 3000
Maximum reflected RF power (Read back) head A to F: 3000
RF Generator type chamber 1, 2 and 3: AE RFG-3
No wafer ON paddle sensors
UNIVERSAL Remote pump
No LP access mode indicator
No CHI VAT valve
CHI Gas box
CH2 and CH2 Gas box: UNIVERSAL
No CH1 VAT valve
CH2 and CH3 VAT Valve
(2) Loadport load LED indexes
(5) Loadport unload LED indexes
Loadport manual mode LED index
(9) Loadport handoff button indexes
(8) Loadport Err LED indexes
No CH1 manometer analog cable
CH2 and CH3 Manometer analog cable
No CH1, CH2 and CH3 fast preheat
Fast preheat maximum VAT valve angle: 100
No CH1, CH2 and CH3 back robot Z-motion enabled
No CH1 source cooling
Communications port: 36 (2 NT)
Light curtain type: System
RF Strike option: Fix strike
RF Strike timeout: 5S
Hd-Hd Plasma strike timeout: 3S
No check wafer slide sensor
Chiller
Routing type: Standard
Lite etch settings
No independent lift pin monitoring
Tag reader type: Hermos 1
(2) CH1, CH2 and CH3 N2 Gas lines
Start verity interface: Manual
MFC Check: Standard
(2) Gas purge lines
No 3-stages pump down for load-lock
No E84 AMHS stop bit
No request host time set
No LL wafer cooler
Chiller signal display: Chiller
No LL pump purge
No LL cross flow
No UPC
No wafer shift sensor
Run time (Min): 384,009
Wafer count: 463,919
Total run time: 3,242,784
Total wafers: 6,534,874
MFC Type: Unit 1661
Disks: MC and GUI
Gases: O2, N2, CF4, H2/N2: 4%
2008 vintage.
MATTSON Aspen III est un asher à gravure sèche de haute précision qui est conçu pour fournir une grande variété de travaux de gravure de haute qualité pour le silicium, le diamant et d'autres matériaux nécessitant une gravure de précision. Ce cendrier est fabriqué avec un cadre en acier inoxydable robuste pour une fiabilité inégalée, et sa conception de chambre verticale dispose d'un grand champ thermique de 6 pouces avec des taux de gravure réglables. Avec Aspen III, les utilisateurs peuvent graver différentes couches de matériaux avec précision et précision. MATTSON Aspen III est équipé d'une alimentation avancée de gravure pulsée qui permet des résultats de gravure reproductibles et précis. Cette machine est livrée avec une variété de chimies de gravure qui peuvent être utilisés pour graver efficacement à travers divers matériaux, y compris le silicium, le diamant, le nitrure de gallium, et beaucoup d'autres. En outre, ce cendrier a une fonction avancée de gravure assistée par laser qui fournit des marquages précis et une fidélité à l'image directement sur le substrat. Aspen III dispose d'un mode de fonctionnement entièrement automatique qui permet aux utilisateurs de configurer et programmer facilement des tâches de gravure à répétition avec un seul bouton. Il dispose également d'une interface graphique intuitive qui permet aux utilisateurs de connaître rapidement les informations de gravure actuelles, y compris la température du quartz, la pression et la densité du plasma. Cela garantit que les utilisateurs sont en mesure de maintenir avec précision et cohérence les paramètres du processus. MATTSON Aspen III est équipé d'une alimentation d'allumage plasma intégrée qui évite les problèmes de contamination ou de surgravure. Cette gravure asher est également entièrement conforme aux lois sur les gaz sous vide et est conçue pour maintenir les exigences réglementaires et les protocoles de sécurité. Il est également livré avec des fonctionnalités telles que l'audit, la surveillance des alarmes de processus, et la capacité d'arrêt automatique afin que les utilisateurs peuvent travailler avec confiance. Aspen III est capable d'obtenir d'excellents résultats de gravure grâce à son champ thermique réglable précis et son alimentation haute tension optimisée qui peut aller de 5 volts à 100 volts. Ces fonctionnalités, ainsi que la possibilité de définir des tâches de gravure répétées, font de MATTSON Aspen III un excellent choix pour quiconque a besoin de résultats de gravure de haute qualité. C'est la solution parfaite pour les procédés de gravure sur des matériaux difficiles, tels que le silicium ou le diamant, et offre des résultats de qualité supérieure à faible coût.
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