Occasion MATTSON Aspen III #9190468 à vendre en France

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Fabricant
MATTSON
Modèle
Aspen III
ID: 9190468
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Light etcher, 12" No multiple level security No pressure pascal unit No TM pump share Maximum forward RF power (Set point and read back) head A to F: 3000 Maximum reflected RF power (Read back) head A to F: 3000 RF Generator type chamber 1, 2 and 3: AE RFG-3 No wafer ON paddle sensors UNIVERSAL Remote pump No LP access mode indicator No CHI VAT valve CHI Gas box CH2 and CH2 Gas box: UNIVERSAL No CH1 VAT valve CH2 and CH3 VAT Valve (2) Loadport load LED indexes (5) Loadport unload LED indexes Loadport manual mode LED index (9) Loadport handoff button indexes (8) Loadport Err LED indexes No CH1 manometer analog cable CH2 and CH3 Manometer analog cable No CH1, CH2 and CH3 fast preheat Fast preheat maximum VAT valve angle: 100 No CH1, CH2 and CH3 back robot Z-motion enabled No CH1 source cooling Communications port: 36 (2 NT) Light curtain type: System RF Strike option: Fix strike RF Strike timeout: 5S Hd-Hd Plasma strike timeout: 3S No check wafer slide sensor Chiller Routing type: Standard Lite etch settings No independent lift pin monitoring Tag reader type: Hermos 1 (2) CH1, CH2 and CH3 N2 Gas lines Start verity interface: Manual MFC Check: Standard (2) Gas purge lines No 3-stages pump down for load-lock No E84 AMHS stop bit No request host time set No LL wafer cooler Chiller signal display: Chiller No LL pump purge No LL cross flow No UPC No wafer shift sensor Run time (Min): 384,009 Wafer count: 463,919 Total run time: 3,242,784 Total wafers: 6,534,874 MFC Type: Unit 1661 Disks: MC and GUI Gases: O2, N2, CF4, H2/N2: 4% 2008 vintage.
MATTSON Aspen III est un asher à gravure sèche de haute précision qui est conçu pour fournir une grande variété de travaux de gravure de haute qualité pour le silicium, le diamant et d'autres matériaux nécessitant une gravure de précision. Ce cendrier est fabriqué avec un cadre en acier inoxydable robuste pour une fiabilité inégalée, et sa conception de chambre verticale dispose d'un grand champ thermique de 6 pouces avec des taux de gravure réglables. Avec Aspen III, les utilisateurs peuvent graver différentes couches de matériaux avec précision et précision. MATTSON Aspen III est équipé d'une alimentation avancée de gravure pulsée qui permet des résultats de gravure reproductibles et précis. Cette machine est livrée avec une variété de chimies de gravure qui peuvent être utilisés pour graver efficacement à travers divers matériaux, y compris le silicium, le diamant, le nitrure de gallium, et beaucoup d'autres. En outre, ce cendrier a une fonction avancée de gravure assistée par laser qui fournit des marquages précis et une fidélité à l'image directement sur le substrat. Aspen III dispose d'un mode de fonctionnement entièrement automatique qui permet aux utilisateurs de configurer et programmer facilement des tâches de gravure à répétition avec un seul bouton. Il dispose également d'une interface graphique intuitive qui permet aux utilisateurs de connaître rapidement les informations de gravure actuelles, y compris la température du quartz, la pression et la densité du plasma. Cela garantit que les utilisateurs sont en mesure de maintenir avec précision et cohérence les paramètres du processus. MATTSON Aspen III est équipé d'une alimentation d'allumage plasma intégrée qui évite les problèmes de contamination ou de surgravure. Cette gravure asher est également entièrement conforme aux lois sur les gaz sous vide et est conçue pour maintenir les exigences réglementaires et les protocoles de sécurité. Il est également livré avec des fonctionnalités telles que l'audit, la surveillance des alarmes de processus, et la capacité d'arrêt automatique afin que les utilisateurs peuvent travailler avec confiance. Aspen III est capable d'obtenir d'excellents résultats de gravure grâce à son champ thermique réglable précis et son alimentation haute tension optimisée qui peut aller de 5 volts à 100 volts. Ces fonctionnalités, ainsi que la possibilité de définir des tâches de gravure répétées, font de MATTSON Aspen III un excellent choix pour quiconque a besoin de résultats de gravure de haute qualité. C'est la solution parfaite pour les procédés de gravure sur des matériaux difficiles, tels que le silicium ou le diamant, et offre des résultats de qualité supérieure à faible coût.
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