Occasion MATTSON Aspen #293774634 à vendre en France

Fabricant
MATTSON
Modèle
Aspen
ID: 293774634
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
System, 8" Process: PR Asher MATTSON Standard dual arm robot Back chamber: RISSHI EXH-1004 Chiller Utility box: PCW Distribution Chamber position: Back chamber: ICP Asher Side chamber: ICP Asher Back and side chamber: Process: PR Asher Tube material: Quartz ADVANCED ENERGYE RFPP 30S RF Generator TRAZAR AMU-10D-3 RF Matcher CMLB-11506 Pressure guage MDV018 Throttle valve ACX120103 Throttle valve controller PARTLOW MIC 2000 Temperature controller Gas box: Gas-1: O2, 5000 SCCM Gas-2: O2, 200 SCCM Gas-3: CF4, 300 SCCM Gas-4: H2/N2, 3000 SCCM Transformer: 200 VAC - 100 VAC 1999 vintage.
MATTSON Aspen est un fabricant leader d'équipements de gravure et de cendres utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Fondée en 1988, MATTSON a acquis une solide réputation en produisant des outils de gravure et d'ashing avancés, fiables et performants qui répondent aux exigences exigeantes du processus de fabrication des semi-conducteurs. Les séries de graveurs et de cendres Aspen sont conçues pour fournir des procédés de gravure et de cendrage précis et uniformes, essentiels à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Ces outils sont utilisés dans les installations de fabrication de semi-conducteurs pour éliminer sélectivement la matière de la surface des plaquettes pendant le processus de fabrication. La série MATTSON Aspen propose une gamme de solutions de gravure et d'ashing adaptées aux différents besoins et applications de traitement. Ces outils sont connus pour leur polyvalence, leur précision et leur efficacité dans le traitement de divers matériaux, dont le silicium, le dioxyde de silicium, les films métalliques et les diélectriques. Une caractéristique clé de la série Aspen est ses capacités avancées de contrôle des processus. Ces outils sont équipés de systèmes de surveillance et de contrôle avancés qui garantissent des paramètres de processus précis, tels que la vitesse de gravure, la sélectivité, l'uniformité et la détection des paramètres. Cela permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir une répétabilité et un rendement de processus élevés, facteurs critiques pour obtenir des performances cohérentes du dispositif. Les graveurs et cendres MATTSON Aspen sont également conçus avec un accent sur la productivité et la flexibilité. Ces outils sont conçus pour fournir des vitesses de traitement élevées et rapides, permettant aux fabricants de semi-conducteurs de respecter des calendriers de production serrés et de maximiser le rendement des plaquettes. De plus, les outils offrent une conception modulaire qui permet une personnalisation facile et des mises à niveau pour s'adapter aux exigences changeantes des processus. En termes de technologie, la série Aspen intègre des techniques avancées de gravure et de cueillette du plasma pour obtenir un enlèvement précis et contrôlé des matériaux. Ces outils utilisent une gamme de sources de plasma, y compris le plasma à couplage inductif (ICP), le plasma à couplage capacitif (CCP) et la gravure ionique réactive (RIE), pour graver les matériaux et les cendres avec une grande sélectivité et uniformité. Les outils MATTSON Aspen comprennent également des chambres innovantes et des systèmes de distribution de gaz qui optimisent l'uniformité des processus et améliorent les performances des gravures et des cendres. Les outils sont équipés d'alimentations RF, de régulateurs de débit de gaz, de systèmes de régulation de température et de capteurs de détection d'extrémité pour garantir un contrôle précis du processus et des résultats fiables. En outre, la série Aspen est soutenue par un réseau complet de services et de support, incluant la maintenance, la formation et le support applicatif pour aider les clients à optimiser la performance des outils et à maximiser l'efficacité opérationnelle. L'équipe d'ingénieurs et de spécialistes techniques expérimentés de MATTSON travaille en étroite collaboration avec les clients pour relever leurs défis spécifiques en matière de processus et assurer la mise en œuvre réussie des outils. Dans l'ensemble, les séries de graveurs et de cendres MATTSON Aspen sont des outils innovants, fiables et performants qui jouent un rôle crucial pour permettre aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir une fabrication d'appareils de haute qualité et de répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs en évolution rapide. En mettant l'accent sur le contrôle avancé des procédés, la productivité et l'innovation technologique, les outils Aspen sont bien adaptés aux installations de fabrication de semi-conducteurs qui recherchent l'excellence dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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