Occasion MATTSON Paradigm SI #9241278 à vendre en France

MATTSON Paradigm SI est un graveur/asher avancé conçu pour fournir des solutions de gravure et/ou ashing efficaces, précises et contrôlées par les processus pour la recherche sur les matériaux. Il s'agit d'un équipement de traitement par lots très efficace, basé sur la robotique, utilisant un système de contrôle en boucle fermée innovant pour graver ou ashing sélectivement des plaquettes en matériaux monocouches ou multicouches. Doté de capacités de processus multi-chambres avancées, Paradigm SI offre un contrôle temporel et spatial exceptionnel des paramètres du processus, y compris les flux de gaz, les températures et la puissance plasmatique. La chambre principale dispose d'une source de chargement haut RF intégrée avec des alimentations électriques indépendantes et isolées pour chaque source. Chaque module de chargement supérieur contient une unité d'extraction collimatée focalisée en boucle fermée qui répartit uniformément le plasma à travers la plaquette à l'intérieur de la chambre de traitement. La chambre contient également une machine de levage/cassette simplifiée pour le chargement/déchargement facile des plaquettes. En plus de la chargeuse supérieure, MATTSON Paradigm SI dispose également d'un mécanisme de levage charge/déchargement pour permettre une livraison précise du gaz et un positionnement rapide des plaquettes. Cet outil de chargement supérieur permet de régler la pression de la chambre au besoin pendant le traitement, minimisant le risque de contamination de la chambre et maintenant le contrôle total du processus de gravure/cueillette de la plaquette. La chambre contient également un contrôle thermique dynamique, permettant de régler avec précision les températures de la plaquette pour toutes les conditions à l'intérieur de la chambre, y compris la surpression. Cela garantit un processus de gravure/cendres cohérent et efficace et réduit au minimum le temps passé à gérer l'exposition à des températures élevées. En plus de ses capacités avancées de processus multi-chambres, Paradigm SI fournit également plusieurs fonctions supplémentaires de gravure et d'ashing, y compris la possibilité de sélectionner facilement le traitement de plaquettes simples ou multiples ainsi que le traitement multi-étapes. Il offre également plusieurs consommables de grande capacité, y compris différents types de plaquettes consommables, spécialement conçus pour résister à la température du procédé et à l'environnement RF. Pour un contrôle supplémentaire, l'actif dispose également d'une variété de protocoles de surveillance des plaquettes, permettant aux utilisateurs d'observer les résultats des plaquettes en temps réel, ainsi que de contrôler et contrôler automatiquement les paramètres clés des processus de gravure et de cueillette tels que la pression, le débit, la puissance et la température. Cette capacité avancée de surveillance des processus fait de MATTSON Paradigm SI un modèle hautement fiable et efficace, permettant aux utilisateurs de créer des matériaux gravés/cendrés de haute qualité rapidement et efficacement.