Occasion MATTSON Suprema IM #9241281 à vendre en France

MATTSON Suprema IM est un équipement automatisé de gravure et de cendrage par voie humide à base de plasma conçu pour le traitement de substrats jusqu'à 200 mm. Il est idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, de couches minces et de dispositifs MEMS et traite le silicium, le GaAs, le polyimide et d'autres substrats gravés. La plate-forme polyvalente offre aux utilisateurs la possibilité de graver et d'aspirer en un seul outil avec des tailles de substrat allant jusqu'à 200 mm. Suprema IM est un système de gravure avancé incorporant une distribution de gaz de haute pureté, un contrôle précis du plasma et un contrôle de la température pour des opérations de procédé avancées. Il utilise les premières chimies gravantes à l'eau forte conductrices Conac™ et traite un large éventail de matériel tel que substrates basé sur le silicium aux métaux et le matériel diélectrique, tous dans un outil simple. La fonction de gravure de MATTSON Suprema IM offre une opération à basse température qui aide à minimiser la contamination et permet plusieurs étapes de gravure tout en maintenant la qualité du substrat. En plus de la gravure, Suprema IM dispose également d'un processus d'ashing à base de plasma. Il offre un processus de cendres plasmatiques à volatilité contrôlée qui produit un niveau élevé de sélectivité des cendres dans un seul procédé. Ce procédé utilise des plasmas éloignés ou du plasma inductif (PIC) pour éliminer les cendres à basse température des films de résidus diélectriques. Les produits chimiques acides de l'unité fournissent un niveau de propreté supérieur aux matériaux transformés. MATTSON Suprema IM est configurable avec ses paquets clés en main complets et dispose de différents paramètres pour chaque chambre de traitement pour une répétabilité optimale. Il offre également des interfaces utilisateur Windows/Mac où les utilisateurs peuvent contrôler diverses fonctions telles que les recettes de processus, la connexion aux systèmes de données et l'accès à distance à la machine. En utilisant sa fonction de base de données, les utilisateurs peuvent stocker et rappeler des recettes, et enregistrer les paramètres pour une exécution plus rapide du processus. Pour assurer une maintenance efficace et le dépannage, Suprema IM offre une plate-forme de maintenance prédictive, qui est une plate-forme intégrée qui surveille la machine et alerte les utilisateurs à tout problème ou problème potentiel. L'outil est également conçu avec un haut niveau de caractéristiques de sécurité qui réduisent l'exposition de l'opérateur aux matières dangereuses pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, MATTSON Suprema IM est un outil avancé et polyvalent de gravure et de cendrage par voie humide adapté à une large gamme d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs, de couches minces et de dispositifs MEMS. Il dispose d'une plate-forme utilisateur hautement configurable, d'une base de données automatisée, de prédictions de maintenance et de fonctionnalités de sécurité avancées pour améliorer la productivité et le rendement.