Occasion MATTSON Suprema #9358706 à vendre en France

MATTSON Suprema est un graveur/asher fiable, durable et de haute précision conçu pour diverses applications dans le processus de fabrication des plaquettes. Il est conçu pour fournir une homogénéité de température supérieure et un contrôle optimal des dimensions critiques pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement comporte une source de plasma polarisé et une chambre à quartz pour modifier et améliorer l'uniformité de vitesse de gravure et le contrôle de profil. Les caractéristiques de conception comprennent également les performances à haut courant, l'étape de courant programmable, et un système à vide élevé pour les résultats de gravure avancés. Suprema dispose de commandes d'interface utilisateur standard de l'industrie avec un contrôleur joystick pour faciliter le fonctionnement et la sélection des modules. Le gaz de procédé est délivré par un débitmètre multi-masse et contrôlé pour des performances de gravure précises. L'etcher dispose d'une unité de filtration des particules en deux étapes qui contribue à une répétabilité supérieure du procédé et réduit la contamination sur les substrats gravés. La machine est compatible avec une variété de gaz tels que l'hexafluorure de soufre, le SF6, le chlore, et ainsi de suite, plus des fonctionnalités avancées de contrôle de processus, y compris le pompage de déplacement actif, le chargement automatique de recette, et un outil de rotation d'échantillon. MATTSON Suprema facilite la gravure efficace et fiable de divers substrats. Il a la puissance et la fonctionnalité pour graver des plaquettes simples ou multiples à la fois et obtient une uniformité de vitesse de gravure supérieure, un rendement plus élevé, et une meilleure stabilité du processus. L'outil de filtration des particules en deux étapes assure une stabilité de gravure optimale et des résultats fiables. L'actif comprend également une surveillance continue des flux, une analyse en ligne, un réglage automatique et un stockage de recettes. Suprema définit des normes en matière de performance de gravure. Il combine des composants de haute qualité et un design modulaire pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. L'homogénéité de température de l'graveur est excellente pour un contrôle précis des dimensions critiques, tandis que les performances élevées et le pas de courant programmable contribuent à l'uniformité des vitesses de gravure. Le modèle de nettoyage fiable permet de réduire la contamination des substrats gravés. Les contrôles conviviaux, le chargement automatisé des recettes et l'outil de rotation des échantillons rendent l'équipement idéal pour une variété d'applications dans le processus de fabrication des plaquettes.