Occasion MAXIS 300L #293586674 à vendre en France

Fabricant
MAXIS
Modèle
300L
ID: 293586674
ICP Etcher.
MAXIS 300L est un graveur/asher conçu pour la gravure profonde et la cueillette de divers matériaux, y compris les métaux, les plastiques, la céramique et le silicium. Ce graveur/asher combine deux technologies de gravure - HF (fluorure d'hydrogène) et mp (plasma métallique) - pour obtenir une gravure profonde et uniforme dans une seule chambre. MAXIS 300 L dispose d'une chambre carrée de 15 pouces en acier inoxydable avec un émetteur et des récepteurs intégrés, permettant une gravure/cendrage intégrale à quatre canaux. Ses gaz de procédé uniques - uranium (U2O2) et hexafluorure de chlore (CF6) intensifient les effets de gravure - sont injectés directement dans la chambre, assurant une distribution uniforme des gaz de procédé dans toute la chambre. Ce graveur/asher abrite 6 plateaux à quartz, avec 3 amovibles et 3 fixes, pour la manutention des échantillons. Les échantillons peuvent être chargés sur des plateaux à quartz et transférés dans la chambre avec un mécanisme appelé navette de transfert. Cette navette est également utilisée pour transporter des plateaux d'échantillonnage de l'etcher/asher à d'autres laboratoires pour un traitement ultérieur. 300L est équipé d'un système de sécurité intégré, comprenant un arrêt automatique et un bouton d'arrêt d'urgence (EN). De plus, il est conçu pour éviter la surpression, assurant un fonctionnement sûr de l'graveur/asher. 300 L est un graveur entièrement automatisé avec deux modes d'opérateur - manuel complet et semi-automatique - et offre une large gamme d'outils de surveillance des processus, y compris le balayage étape par étape des plaquettes et les fonctions de comparaison des motifs. Il est également livré avec une fonction de vue 3D pour afficher graphiquement les données en trois dimensions, permettant à l'utilisateur de jeter un coup d'oeil aux résultats du processus. Le système est équipé d'une carte de contrôle logique programmable (PLC) qui permet le fonctionnement synchronisé de plusieurs chambres, ainsi que d'une interface utilisateur graphique conviviale qui fournit des menus interactifs et une description étape par étape de chaque étape nécessaire à l'exécution du travail. De plus, son logiciel d'analyse de mouvement intelligent (IMAS) permet de calibrer rapidement et facilement les paramètres de gravure tels que la vitesse, la pression et le temps de traitement. Ce logiciel permet également aux utilisateurs de contrôler les processus de gravure depuis un endroit distant. MAXIS 300L est l'outil parfait pour la gravure profonde et l'ashing de divers matériaux. Sa technologie de gravure double et son design spécialisé le rendent idéal pour la gravure et la cendre avec une grande précision sur une gamme de matériaux. Il est conçu pour des performances fiables et répétables, offrant une sécurité accrue et un meilleur contrôle des processus, ce qui en fait un graveur/asher idéal pour les applications haut de gamme.
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