Occasion MAXIS 300L #9216760 à vendre en France

MAXIS 300L est un graveur thermique et asher de pointe conçu pour la fabrication de composants micro haute résolution. Il s'agit d'une plate-forme mature qui offre un large éventail de capacités pour le dépôt de matériaux, la gravure et l'ashing. MAXIS 300 L dispose d'un équipement robuste et automatisé avec un système d'admission et de distribution de gaz conçu sur mesure. Il est conçu pour fournir un débit de gaz uniforme pour une gravure et un cendrage cohérents avec une contamination résiduelle minimale. L'unité est capable de gérer un large éventail de gaz, de substrats et de pressions d'application. 300L dispose d'un module avancé de gravure ionique réactive (RIE) avec une configuration de flux de gaz flexible. Le module RIE prend en charge diverses chimies de gravure, y compris la gravure humide, la gravure ICP, la gravure FIB et la gravure PECVD. Le module RIE est enfermé dans une chambre hermétiquement fermée et est équipé d'un atomiseur de haute précision, d'une machine d'injection de gaz précise et d'un outil de traitement numérique du signal. Ceci assure un contrôle serré des paramètres de gravure tels que la puissance et le débit pour obtenir une gravure uniforme et une meilleure définition des motifs. 300 L dispose également d'un équipement flexible de chargement et de manutention du substrat. Ce modèle supporte une large gamme de substrats, y compris le verre, le quartz et les matériaux céramiques. Il est équipé d'un étage mobile haute résolution qui assure la précision lors du chargement et de l'alignement du substrat. L'équipement a des capacités de refroidissement à haute température et basse pression pour éviter la surchauffe pendant le traitement. MAXIS 300L comprend également un système de cendrage avancé avec une enceinte de confinement de haut niveau. Cela supporte à la fois les processus de cendres humides et plasmatiques. Il est capable de manipuler un large éventail de matériaux avec des températures de traitement, des pressions et des chimies élevées. L'unité d'automatisation avancée assure des processus d'ashing rapides et cohérents. MAXIS 300 L est compatible avec divers systèmes d'imagerie et de métrologie pour la surveillance des caractéristiques conçues et les tests en cours de processus. La machine dispose de capacités diagnostiques approfondies pour permettre une personnalisation et une optimisation précises pour diverses applications. Les autres fonctionnalités comprennent la gestion personnalisable du gaz et l'arrêt automatique du gaz commandé par logiciel. 300L est une plate-forme idéale pour la fabrication et la modification de composants micro haute résolution. Il offre des performances robustes, un contrôle flexible des processus et un fonctionnement fiable.