Occasion MAXIS 300LAH #9409612 à vendre en France

MAXIS 300LAH est un graveur/asher conçu pour effectuer efficacement la gravure ionique réactive et la cueillette de divers matériaux, dont la silice, le silicium, le verre et les métaux. L'équipement est conçu pour obtenir d'excellents profils de gravure, fournissant des résultats uniformes et fiables dans une plate-forme à prix compétitif. 300LAH est équipé d'un large éventail de caractéristiques pour divers matériaux de substrat et applications de gravure/cueillette. Il est équipé d'une chambre de traitement au nitrure de bore de quartz (QBN) de 300mm avec une pression de travail maximale de 200 mTorr, ce qui le rend adapté à différents procédés de gravure et de cueillette. Le contrôle de la pression du procédé est obtenu par une pompe à rugosité linéaire multi-étages et une combinaison de turbopompe avec une pression de base de 30 mTorr. Le système dispose également d'une source de gravure, de pompage différentiel, de télédétection et de chargement manuel d'échantillons, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. La source de gravure sur MAXIS 300LAH est une pompe moléculaire double turbo, dotée d'une orientation horizontale et verticale réglable permettant une transformation facile et une optimisation de l'orientation du motif gravé. Il est équipé d'un générateur RF de 2 kW, capable de délivrer jusqu'à 2200 Watts de puissance, fourni par une alimentation 500-VDC, permettant une flexibilité maximale dans les paramètres de gravure et de cendrage. 300LAH bénéficie également d'une élévation de charge frontale à diaphragme de précision permettant de charger les substrats et les plaquettes dans un environnement sûr. Son unité de rotation de chambre inclinée et tournante est également un avantage important, permettant de manœuvrer facilement les plaquettes pour une gravure droite et uniforme. Afin d'assurer un environnement sûr pour les utilisateurs, MAXIS 300LAH est équipé d'un bouton d'urgence intégré, qui ferme immédiatement la chambre et ferme l'alimentation lorsqu'elle est déclenchée. La machine bénéficie également d'une interface complète, accessible via un écran tactile intuitif, permettant aux utilisateurs de superviser et de contrôler précisément chaque étape du processus. Globalement, 300LAH est un outil de gravure/ashing efficace et rentable adapté à diverses applications telles que le traitement des plaquettes, les composants électroniques, les plaques de pression en céramique et même les dispositifs optoélectroniques. Ses fonctionnalités complètes et son interface intuitive en font l'outil parfait pour toutes les exigences de gravure/ashing.