Occasion MIMASU MSC-4000H #293830491 à vendre en France

MIMASU MSC-4000H
Fabricant
MIMASU
Modèle
MSC-4000H
ID: 293830491
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2005
Cleaning system, 8" 2005 vintage.
MIMASU MSC-4000H est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe intègre des fonctionnalités de gravure et d'asher dans une plate-forme unique, offrant une solution polyvalente pour l'enlèvement précis des matériaux et le traitement de surface dans la production de circuits intégrés et autres dispositifs électroniques. Au cœur de MSC-4000H se trouve sa chambre de processus innovante, qui dispose d'une serrure de charge de grande capacité et d'un système de distribution de gaz sophistiqué. La chambre est conçue pour accueillir différentes tailles de plaquettes, de petits échantillons de recherche à de grands substrats de production, offrant une flexibilité pour différents besoins de fabrication. L'unité est équipée de multiples entrées de gaz et vannes de commande, permettant une régulation précise des gaz de procédé et des paramètres du plasma pour obtenir une gravure/cueillette uniforme et contrôlée sur toute la surface de la plaquette. Une des caractéristiques clés de MIMASU MSC-4000H est sa technologie avancée de génération de plasma, qui permet aux sources de plasma haute densité de produire des espèces réactives pour améliorer les performances de gravure et de nettoyage. La machine utilise une combinaison de sources de plasma radiofréquence (RF) et hyperfréquence pour générer un plasma stable et uniforme qui peut efficacement enlever le matériau de la surface de la plaquette avec une grande sélectivité et des dommages minimes aux couches sous-jacentes. MSC-4000H offre un large éventail de procédés de gravure et d'asher pour répondre aux divers besoins de la fabrication de semi-conducteurs. L'outil peut effectuer une gravure isotrope et anisotrope de différents matériaux, dont le silicium, le dioxyde de silicium, les films métalliques et les couches diélectriques. En outre, l'actif peut également être utilisé pour des applications de nettoyage de surface et de cendrage, telles que l'élimination de photorésist, le décapage de polymère et la modification de surface. Pour améliorer le contrôle et la répétabilité des processus, MIMASU MSC-4000H est équipé d'une interface logicielle avancée et d'un modèle de gestion des recettes. L'interface conviviale permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les processus de gravure/ashing, d'ajuster les paramètres du processus en temps réel et d'analyser les données du processus pour le contrôle de la qualité et l'optimisation. L'équipement offre également des outils de diagnostic et d'entretien complets pour assurer un fonctionnement fiable et minimiser les temps d'arrêt. En termes de performance et de débit, MSC-4000H offre une uniformité de gravure/cueillette exceptionnelle et une productivité pour des environnements de production à haut volume. Le système est capable de traiter plusieurs plaquettes simultanément, utilisant des capacités de traitement par lots et d'automatisation pour maximiser le débit et l'efficacité. Avec sa conception robuste et ses composants de pointe, MIMASU MSC-4000H est conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs et fournir une solution fiable pour la fabrication de dispositifs avancés. En conclusion, MSC-4000H est une unité de pointe de graveur/asher qui offre précision, polyvalence et productivité pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa technologie plasma de pointe, à ses fonctions de contrôle des processus et à ses capacités de haute performance, la machine est bien adaptée à une large gamme de procédés de gravure et d'asher dans la production de circuits intégrés et d'appareils électroniques.
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