Occasion MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC UV-600 #9386602 à vendre en France

MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC UV-600 est un graveur/asher conçu pour répondre aux exigences des procédés exigeants pour la fabrication de dispositifs MEMS, silicium et III-V. Cet etcher/asher est conçu avec une approche modulaire qui facilite la personnalisation et l'intégration dans les besoins spécifiques d'une application particulière. MPTC UV-600 est capable de gravure extrêmement précise et de soutirage de matériaux jusqu'à une longueur de lin minimale de 70nm. La conception modulaire de MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600 permet une flexibilité personnalisable dans de nombreuses applications de gravure. Il dispose d'une chambre de processus qui peut accueillir une variété de wafers tailles jusqu'à 6 pouces, et des recettes de processus personnalisables peuvent être stockés et rappelés en utilisant jusqu'à 108 étapes de recette. Il est également équipé de dispositifs de sécurité et de diagnostic de pointe. UV-600 dispose de la technologie brevetée Molecular Cascade Source (MCS) de MPTC. Cette technologie fournit au graveur/asher une source de plasma innovante, extrêmement stable et très reproductible. La technologie MCS utilise des consommables bon marché, est sans entretien et permet de réduire de 10X la consommation de gaz rares. Les avantages de la technologie MCS se traduisent par une réduction des coûts et une amélioration de la capacité des processus. MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC UV-600 possède également une capacité impressionnante de gravure/cueillette utilisant 20 espèces de gaz de gravure différentes. Il est capable d'effectuer une variété de régimes de gravure et de cueillette, y compris les espèces à base d'oxygène, C4F6, Ar, SF6 et NF3. La procédure de gravure peut être optimisée pour chaque application en fixant les paramètres du procédé tels que débit de gaz, puissance, temps de gravure, etc.. Des chambres de gravure uniques sont disponibles sur des marchés de niche tels que Deep Reactive Ion Etching (DRIE), et un traitement hautement reproductible. MPTC UV-600 dispose d'une interface utilisateur intuitive qui fournit de la commodité aux ingénieurs qualifiés ainsi qu'aux utilisateurs novices. Il dispose d'un système de surveillance de la température et de la pression en temps réel, affiché dans un écran LCD intégré. La machine est également équipée de systèmes de sécurité qui aident à assurer la sécurité et la durée de vie de l'équipement. En résumé, MODULAR PROCESS TECHNOLOGY UV-600 est un graveur/asher conçu pour fournir des capacités de gravure et d'ashing très précises, répétables et personnalisables. Il est équipé d'une large gamme d'espèces de gaz de gravure, d'un design modulaire qui permet une personnalisation facile, et d'une interface utilisateur intuitive qui fournit l'assurance aux utilisateurs qualifiés et novices à la fois. Sa technologie brevetée MCS, combinée à son système de surveillance de la température et de la pression en temps réel, en fait une ressource formidable pour la gravure et le cendrage fiables et rentables de divers matériaux.