Occasion MORY V-1500X #9132178 à vendre en France

MORY V-1500X est un graveur/asher de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de haute performance. Ce dispositif utilise un procédé de « gravure à froid » pour obtenir plus de précision et de précision dans la gravure/cueillette de substrats tels que des plaquettes, des puces, des interposeurs, etc. Cet etcher est livré avec une chambre à vide multi-étages haute résolution qui assure des performances optimales pendant le processus de cueillette. Cette chambre maintient un environnement stable avec son contrôle actif de l'humidité pour éliminer les contaminants potentiels. La source des produits chimiques de gravure/cueillette est fournie par une torche à plasma pulsé enfermée dans un boîtier de protection. La torche crée un panache de plasma qui est livré à la plaquette de substrat via une buse à gaz intégrée à une plaque de douche en forme de ventilateur. Cette plaque de douche aide à répartir uniformément le panache sur toute la surface de la plaquette. Ce processus est rendu possible par une large gamme de paramètres personnalisables, y compris la pression, le débit de gaz, la longueur d'impulsion, l'énergie des semi-conducteurs et la vitesse de rotation des plaquettes. L'etcher est également équipé d'un équipement d'imagerie optique haute résolution et haute précision. Ce système facilite la surveillance du processus de gravure/ashing en temps réel, permettant une plus grande précision et un meilleur contrôle. Il est également utilisé pour inspecter la surface du substrat afin de s'assurer de son homogénéité et de sa précision avant le processus de cueillette. En termes de sécurité, V-1500X a été conçu pour fonctionner selon des normes industrielles strictes. Son unité de surveillance des plaquettes est équipée d'une unité triple redondante qui fournit des indications précises de tout danger ou événement pouvant survenir au cours de la gravure ou de l'ashing. Le dispositif dispose également d'une fonction de panne automatique qui lui permet d'arrêter le processus en toute sécurité en cas de problème. Enfin, MORY V-1500X dispose d'une interface utilisateur simple, permettant une personnalisation facile des paramètres et un dépannage rapide. Cet etcher/asher est également livré avec plusieurs fonctionnalités supplémentaires, telles que la machine de refroidissement intelligente, la surveillance à distance, et un outil de performance intégré qui permet un contrôle et une surveillance de processus encore meilleur.