Occasion MTJ P291 / P334 #9285840 à vendre en France

MTJ P291/ P334 est une machine de gravure et de cendrage haute performance conçue pour fournir une gravure microélectronique extrêmement précise, le cendrage et le micromachinage sur les substrats jusqu'à 10 "(25 cm) de diamètre. C'est un équipement compact et autonome, facile à utiliser et idéal pour les universités, les laboratoires et les procédés de fabrication de semi-conducteurs et d'électronique. P291/ P334 est un système dédié de gravure et de cendrage capable de graver et de cendrer aussi peu profond que 1 µm. La machine utilise une unité de transfert de cendres/gravure de précision de niveau micron avec une machine automatisée de verrouillage de charge conçue pour optimiser la productivité et assurer une gravure et un cendrage cohérents de haute qualité. La machine dispose de systèmes avancés de contrôle de processus qui peuvent traiter différents processus chimiques et matériaux de substrat, permettant à l'utilisateur de sélectionner les paramètres de gravure optimaux pour chaque processus. Cela inclut la capacité de programmer les paramètres de recette pour la métrologie post-processus et d'autres fonctions de processus. MTJ P291/ P334 est configurable pour exécuter une variété de produits chimiques de gravure - y compris KOH, TMAH, MUF et SF6, et dispose également d'une armoire à gaz intégrée qui permet à la fois des flux Ar/O2 et XeF2. D'autres caractéristiques de P291/ P334 comprennent un chargeur réglable et un outil de mouvement avancé pour un placement et une translation des substrats plus rapides et plus précis. En outre, la machine dispose d'un actif sous vide intégré, permettant un débit plus élevé et une meilleure manipulation du substrat. Le modèle comprend également deux compresseurs de refroidissement latéraux, deux régulateurs de température intégrés, et un processeur de signal multicanal avec réglage automatisé des paramètres pour les meilleures performances de gravure. Enfin, MTJ P291/ P334 est équipé d'un mécanisme de porte indépendant breveté, permettant une isolation thermique lors de l'ouverture de la porte. La porte isolée prévient les problèmes de contamination croisée et de choc thermique lors des processus de gravure et de cueillette. En outre, l'équipement intègre également des dispositifs de sécurité avancés tels que des capteurs de pression, l'arrêt d'urgence, et une interface homme-machine intuitive (HMI) pour un fonctionnement et une surveillance faciles.