Occasion NAURA / AKRION ELEDE 380G+ #293797490 à vendre en France

NAURA/AKRION ELEDE 380G + est un équipement de pointe de graveur/asher conçu pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute précision. Cet outil de pointe offre des capacités de pointe pour les processus de gravure et d'ashing, ce qui en fait une solution idéale pour les installations de fabrication de semi-conducteurs nécessitant des performances et une fiabilité élevées. NAURA ELEDE 380G + est équipé d'une gamme de caractéristiques et de technologies innovantes qui permettent un traitement précis et efficace des plaquettes. Le système dispose d'une source de plasma RF haute puissance qui fournit un excellent contrôle du processus et la répétabilité, assurant des résultats cohérents sur plusieurs opérations de traitement. En outre, l'unité intègre des systèmes avancés de surveillance et de contrôle des processus qui permettent des ajustements en temps réel pour optimiser les paramètres du processus et atteindre le profil de gravure ou de cendres souhaité. L'un des points forts d'AKRION ELEDE 380G + est sa polyvalence dans la manipulation d'un large éventail de matériaux et de produits chimiques. La machine est compatible avec une variété de gaz et de précurseurs couramment utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, ce qui permet d'obtenir des recettes de procédé adaptées aux besoins spécifiques. Qu'il s'agisse de la gravure du silicium, du dioxyde de silicium ou d'autres matériaux, ELEDE 380G + peut être configuré pour fournir des vitesses de gravure précises et uniformes avec des dommages minimes au substrat. NAURA/AKRION ELEDE 380G + est équipé d'un outil de régulation de température multi-zones qui assure des conditions de processus stables et minimise les variations de température sur la surface de la plaquette. Cette caractéristique est essentielle pour réaliser des profils de gravure ou de cendres uniformes, notamment pour des matériaux sensibles ou des structures de dispositifs complexes. L'actif comprend également des capacités avancées de manutention des plaquettes, telles que le chargement robotique et le déchargement, afin de rationaliser le flux de traitement et de minimiser les temps de cycle. En termes de capacités de processus, NAURA ELEDE 380G + offre une large gamme de modes de gravure et de cendres pour répondre à différentes structures d'appareils et exigences de matériaux. Le modèle prend en charge les processus de gravure isotrope et anisotrope, permettant un contrôle précis des profils des parois latérales et de la sélectivité des gravures. De plus, l'équipement peut effectuer des cendres de plasma en aval pour éliminer la résine photosensible et d'autres contaminants organiques sans endommager le matériau sous-jacent. AKRION ELEDE 380G + est conçu avec un accent sur la fiabilité et la facilité d'entretien pour assurer un maximum de temps de disponibilité et de productivité. Le système dispose d'une construction robuste et de composants de haute qualité qui sont conçus pour une exploitation à long terme dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs. Les tâches d'entretien de routine, telles que le nettoyage des chambres et l'épuration des conduites de gaz, peuvent être facilement effectuées par des opérateurs formés, réduisant au minimum les temps d'arrêt et assurant des performances de processus cohérentes. Dans l'ensemble, ELEDE 380G + est une unité de pointe de graveur/asher qui offre des capacités avancées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques de pointe, ses capacités de processus polyvalentes et sa conception robuste, NAURA/AKRION ELEDE 380G + est une solution fiable et efficace pour les installations de fabrication de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de gravure et de cendres de haute qualité.