Occasion NORDSON MARCH AP-1000 #293616503 à vendre en France

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ID: 293616503
Style Vintage: 2020
Plasma cleaner 2020 vintage.
Le NORDON MARCH NORDSON MARCH AP-1000 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour un débit élevé et une haute résolution sur une variété de substrats, y compris GaAs, InP, Si, ainsi que d'autres matériaux III-V. Ce système utilise un procédé de gravure ionique réactive à basse pression pour permettre une gravure extrêmement précise des lignes fines et des couches. NORDSON MARCH AP 1000 exploite de multiples technologies, y compris la gravure par résonance cyclotron électronique, la gravure en courant continu et la gravure par polarisation élevée pour offrir des taux de gravure supérieurs, une excellente précision de gravure et un contrôle de la forme des gravures. AP-1000 architecture comprend un générateur de fréquence double pour permettre deux processus de gravure simultanés, y compris la gravure plasma moyenne densité et la gravure à grand rapport d'aspect. Un ensemble moteur de plaquette avancé offre une excellente homogénéité et répétabilité pour la production. L'unité est équipée d'une serrure de chargement qui permet un chargement sûr des échantillons, ainsi que d'une source de plasma à distance pour le nettoyage de la chambre. Le logiciel de contrôle propriétaire de l'AP 1000 permet des paramètres de gravure sur mesure pour des résultats optimaux. Cette interface logicielle permet aux utilisateurs de programmer des paramètres de recette de gravure tels que la fréquence hyperfréquence, la tension de polarisation et la pression de processus pour obtenir une performance optimale. De plus, la machine est équipée de méthodes avancées de détection des points extrêmes, y compris la spectrométrie de masse en temps de vol et la spectroscopie optique d'émission, ainsi que d'autres outils avancés pour assurer la durabilité du processus. Cet outil polyvalent offre des performances supérieures pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing. Les caractéristiques gravées peuvent avoir des rapports d'aspect jusqu'à 30:1 et des épaisseurs de film jusqu'à 100nm. La précision et la précision des résultats de gravure sont parmi les plus élevés disponibles sur le marché, offrant aux clients des résultats exceptionnels dans une large gamme de tailles d'appareils et de géométries. De plus, les capacités de débit élevées de NORDSON MARCH AP-1000 en font un choix idéal pour une production à haut volume.
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