Occasion NORDSON MARCH AP-1000 #293753808 à vendre en France

Le Normson March NORDSON MARCH AP-1000 est un système de gravure et d'ashing utilisé pour la production de composants semi-conducteurs de haute pureté et de produits industriels. Le système se compose de deux chambres interconnectées ; une chambre de gravure plasma et une chambre de cendrage thermique rapide. La chambre de gravure du plasma utilise un faisceau d'électrons à haute énergie pour générer un environnement de plasma thermique uniforme pour le processus de gravure. Ce puissant flux d'ions aide à éliminer rapidement et précisément les couches d'oxyde et autres impuretés sur le substrat du procédé, tout en minimisant les dommages aux ions et les dommages collatéraux de surface. Cette chambre a une cote de vide de 2 mbar et est alimentée par une alimentation 48V en courant continu. La deuxième chambre, la chambre de cendrage thermique rapide, est un four à haute température qui chauffe rapidement le substrat, en utilisant un mélange propane-air, permettant une décomposition thermique rapide et efficace des contaminants organiques de la couche qui restent post-traitement plasmatique. La température est réglable de 25C à 1400C et la chambre peut atteindre des températures supérieures à 2000 ° C De plus, cette chambre permet d'aspirer l'atmosphère d'oxygène et d'azote ainsi que l'argon pour éliminer les résidus volatils. De plus, le Normson March NORDSON MARCH AP 1000 dispose de chambres latérales à ouverture externe qui donnent aux utilisateurs un accès direct à la cassette du substrat pour un débit plus élevé ; permettant un échange rapide et facile de substrats. Les ports de transfert dédiés permettent un accès externe aux outils. Toutes ces caractéristiques créent un environnement idéal pour les processus de gravure et de cendrage haute performance utilisés dans la production industrielle et semi-conductrice, tout en offrant une expérience utilisateur sûre et efficace. La Normson March AP-1000 rend la production de produits haut de gamme simple et pratique.