Occasion NORDSON MARCH AP-1000 #293829677 à vendre en France

NORDSON MARCH AP 1000 est un équipement de pointe de graveur/asher plasma conçu pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication de semi-conducteurs de pointe et des applications de recherche. Cette plate-forme polyvalente allie précision, efficacité et fiabilité pour fournir des résultats de processus supérieurs pour une large gamme de substrats et de matériaux. Au cœur du système NORDSON MARCH AP-1000 se trouve sa chambre à plasma avancée, qui est soigneusement conçue pour créer un environnement plasma uniforme et contrôlé. Cela garantit des performances de gravure et d'ashing cohérentes dans toute la zone de traitement, ce qui donne des résultats reproductibles de haute qualité. La chambre dispose de systèmes de distribution et de commande de gaz de pointe qui permettent une modulation précise des paramètres de processus tels que les débits de gaz, les pressions et les niveaux de puissance. AP 1000 est équipé d'une source d'énergie RF (radiofréquence) haute fréquence, fonctionnant généralement à des fréquences allant de 13,56 MHz à 40,68 MHz. Ce générateur RF fournit l'énergie nécessaire pour créer et maintenir la décharge de plasma dans la chambre. La puissance RF peut être ajustée et optimisée pour adapter les caractéristiques du plasma aux exigences spécifiques du procédé, telles que la vitesse de gravure, la sélectivité et l'uniformité. Les procédés de gravure et de cueillette en AP-1000 sont typiquement réalisés par introduction d'un mélange de gaz de procédé dans la chambre, où ils sont excités et ionisés par le plasma. Les espèces réactives générées dans le plasma interagissent avec la surface du substrat, conduisant à l'élimination du matériau par pulvérisation physique ou réactions chimiques. L'unité peut accueillir un large éventail de gaz de procédé, y compris l'oxygène, les gaz à base de fluor et d'autres gaz de spécialité, permettant un contrôle précis de la chimie de gravure. Une des caractéristiques clés de NORDSON MARCH AP 1000 est ses capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. La machine est équipée d'une série de capteurs et d'outils de diagnostic qui permettent de surveiller en temps réel des paramètres clés du processus tels que les débits de gaz, la pression de la chambre, la température et la puissance RF. Cette boucle de rétroaction continue permet un contrôle étroit des conditions du processus, assurant des résultats cohérents et reproductibles d'un lot à l'autre. En plus de ses capacités avancées de contrôle des processus, NORDSON MARCH AP-1000 offre une interface conviviale qui permet aux opérateurs de configurer facilement les recettes de processus, de suivre l'avancement des processus et d'analyser les données en temps réel. L'outil peut stocker et rappeler une bibliothèque complète de recettes de processus, ce qui permet de passer facilement entre différents processus de gravure et d'ashing sans reconfiguration longue. AP 1000 est une plate-forme très flexible qui peut être configurée avec une variété de fonctionnalités optionnelles pour répondre aux besoins spécifiques des clients. Il peut s'agir de systèmes automatisés de manipulation des substrats, de systèmes in situ de détection des points d'extrémité, de configurations de chambres personnalisées et d'outils de diagnostic plasma avancés. NORDSON MARCH offre également des services complets de formation et de support pour aider les clients à optimiser leurs processus et à maximiser la performance de AP-1000 asset. En conclusion, NORDSON MARCH AP 1000 est un modèle de graveur/asher plasma de pointe qui offre un contrôle de procédé, une flexibilité et des performances inégalées pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe et des applications de recherche. Grâce à sa conception avancée de la chambre à plasma, sa source d'énergie RF, ses capacités de surveillance des processus et son interface conviviale, NORDSON MARCH AP-1000 est un outil polyvalent pour obtenir des résultats précis et reproductibles de gravure et d'ashing sur un large éventail de substrats et de matériaux.