Occasion NORDSON MARCH AP-1000 #9156324 à vendre en France
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Vendu
ID: 9156324
Style Vintage: 2012
Plasma cleaning system
PLC Controller with touch screen
Graphical interface
Real time process representation
Part carriers either direct or downstream plasma mode
Automatic impedance RF generator: 13.56 MHz
Proprietary software control system
Production data for statistical process control
Effective footprint:
Clearances:
Right, Left: 153 mm (6 in)
Front: 680 mm (26.8 in)
Back: 483 mm (19 in) Minimum
Chamber:
Dimensions: 457W x 610D x 457H mm (18W x 24D x 18H in)
Volume: (127) Liters (7776 in³)
Variable electrode configurations:
Direct
Downstream
HTP Wide
HTP Narrow
(14) Shelf positions
Shelf pitch:
25.4mm (1 in) for 600W
50.8mm (2 in) for 1000 W
Electrodes:
Powered electrode dimensions :
349W x 425D mm (13.74 W x 16.73D in)
Ground (perf.) electrode dimensions:
384W x 425D mm (15.1W x 16.73D in)
Floating shelf dimensions:
349W x 425D mm (13.74W x 16.73D in)
RF Power:
Standard wattage: 600W
Frequency: 13.56 MHz
Gas control:
(4) MFCs
Remote interface:
Software controls:
Plasma link
Process link
Vacuum pump:
Standard vacuum pump:
50 CFM (50 / 60Hz)
Wet pump with oil mist eliminator
Facilities:
Power supply
220V, 25A, 50/60 Hz, 3 phase, 8AWG, (4) Wires
380V, 25A, 50/60Hz, 3 phase, 8 AWG, (5) Wires
Process gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purge gas fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Pneumatic valves fitting size and type:
OD Swagelok tube: 0.25-in
Purity:
Industrial grade nitrogen or CDA
Industrial grade or better
Pressure and flow:
Regulated from 0.69bar (10PSI) min. to 1bar (15PSI) max
Regulated from 2bar (30PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
Regulated from 3.4bar (50PSI) min. to 5.5bar (80PSI) max
CDA
Oil free
Dewpoint: <=7°C /45°F
Particulate size: <5 Micron
Exhaust:
OD Pipe flange: 38mm (1.5 in.)
Compliance:
SEMI: S2, S8, E10
International: CE Marked
Ancillary equipment:
Gas generators
Nitrogen
Hydrogen
Facilities modules:
Oil filtration
Chiller
Scrubber
Currently installed
2012 vintage.
Le Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000 est un graveur/asher de précision conçu pour le traitement de matériaux à haut débit. NORDSON MARCH AP 1000 utilise des techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour déposer des matériaux à la surface d'un substrat avec une grande précision. Ce procédé est idéal pour créer des motifs de circuits, déposer des couches de métallisation protectrices et fournir une gamme d'autres techniques de fabrication. AP-1000 est capable de supporter un large éventail de substrats, y compris la céramique, les matériaux de base électrodéposés, le quartz, les plaquettes semi-conductrices et une variété d'autres matériaux. L'AP 1000 comporte une chambre fermée pour le processus de dépôt et un évent optionnel en acier inoxydable pour l'évacuation des gaz dangereux. La chambre fermée assure le blindage du procédé de dépôt, ce qui permet de contrôler efficacement la pression du procédé et d'éviter toute contamination. La chambre est équipée d'une vanne de régulation de débit à pression réglable et de capteurs de température et de pression réglables. NORDSON MARCH AP-1000 est équipé d'une gamme d'outils de gravure et de cendrage, y compris une capacité de fraisage, des alimentateurs de fil et un dispositif de gravure résistive. La Nordsom March NORDSON MARCH AP 1000 offre la meilleure technologie de gravure et de cendrage de précision. Le système est conçu pour des processus de dépôt automatisés, répétables et reproductibles à haut débit, et est optimisé par un système de contrôle ergonomique puissant. Le logiciel permet une programmation facile de nombreux processus, avec des menus conviviaux et l'affichage graphique des paramètres du processus. Le logiciel dispose également d'une interface utilisateur graphique intuitive pour la mise en place de recettes de dépôt complexes. Le Nordsom March AP-1000 est capable de supporter une grande variété de substrats et peut être personnalisé pour répondre aux besoins d'applications spécifiques. Sa conception de chambre fermée assure un processus de dépôt sûr et contrôlé, et sa vanne de contrôle de débit à pression réglable contribue à maintenir la précision et la répétabilité. En outre, AP 1000 est équipé d'une gamme d'outils pour effectuer des opérations de gravure et d'ashing, et son système de contrôle puissant mais accessible le rend facile à utiliser même pour les utilisateurs novices. Tout dit, le Nordsom March NORDSON MARCH AP-1000 est l'outil parfait pour le traitement précis des matériaux.
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