Occasion NORDSON MARCH AP-1000 #9196956 à vendre en France
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NORDSON MARCH AP-1000 est une machine de gravure conçue pour une variété de procédés de gravure de semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement sous vide intégré et d'un système de contrôle qui permet à l'utilisateur de sélectionner des paramètres tels que la détection du point final et la température du substrat. La gravure s'effectue dans une chambre à quartz, où le substrat à graver est chauffé à haute température et exposé à des gaz chimiques réactifs. NORDSON MARCH AP 1000 dispose d'une unité de dépôt à haute efficacité et basse pression capable d'obtenir des résultats précis et uniformes. Cette machine fournit également un refroidissement rapide et des profils de gravure uniformes, ce qui la rend idéale pour des applications avancées telles que le dépôt, le recuit et la gravure ionique réactive. De plus, le graveur comprend une chambre de procédé d'une capacité maximale de six plaquettes de 300 mm, ainsi qu'un outil de refroidissement et d'écoulement de gaz. AP-1000 intègre également un moyen de régulation de température pour contrôler la température du substrat. L'interface graphique de l'AP 1000 est intuitive et permet aux utilisateurs de contrôler facilement le processus de gravure. L'interface de contrôle de chambre permet aux utilisateurs de personnaliser des paramètres de processus tels que la pression, la température, le débit de gaz, la composition du matériau de polarisation, ainsi que la vitesse et la durée d'injection du gaz. Ce logiciel visualise en temps réel les plans avant et bas du substrat, pendant le processus de gravure. En termes de sécurité, NORDSON MARCH AP-1000 dispose d'un modèle de purge d'air intégré qui garantit que les gaz nocifs et les produits de réaction tels que les halogénures métalliques sont automatiquement éliminés de la chambre de procédé. L'etcher est également livré avec un équipement de refroidissement gratuit pour éviter la surchauffe, ainsi qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence. De plus, NORDSON MARCH AP 1000 dispose d'un système intégré Module Interlock qui empêche l'interruption du processus. Globalement, AP-1000 etcher offre une plate-forme très fiable et facile à utiliser pour une variété de procédés de gravure de semi-conducteurs. Sa chambre en attente de brevet assure des résultats uniformes sur plusieurs diamètres de plaquettes, tandis que sa machine de dépôt à haut rendement fournit des vitesses de refroidissement rapides et des profils de gravure précis. L'AP 1000 est également équipé d'une interface graphique conviviale et de systèmes de sécurité intégrés qui garantissent un fonctionnement sûr et efficace.
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