Occasion NORDSON / MARCH AP-600/300 #9401924 à vendre en France
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MARCH AP-600/300 est un graveur/asher destiné à l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour la production de composants nécessitant des processus de gravure et de cueillette ultra-précis. Ce graveur/asher dispose d'une capacité de vide jusqu'à 10-6 torr, permettant à l'utilisateur de déposer avec précision le matériau sur le substrat avec un risque minimal de contamination ou de défaut. L'etcher/asher dispose également d'un générateur de plasma à double fréquence, avec des fréquences allant de 600 à 300 kHz, qui crée un processus de haute densité ionique avec une puissance maximale soutenue jusqu'à 15 KW. NORDSON AP-600/300 est équipé d'un contrôleur tactile numérique, offrant un contrôle intuitif et facile à utiliser des fonctions de l'etcher/asher. L'utilisateur peut sélectionner le type de processus de gravure requis, y compris CF4, CF2Cl2, LASMA, N2O, O2 et H2, et le système ajustera automatiquement la puissance et la pression pour chaque processus. Un large éventail de paramètres peut être programmé, permettant un contrôle précis des taux de gravure et d'autres variables de processus. La gravure et la cendre de précision fournies par NORDSON/MARCH AP-600/300 sont idéales pour la production de composants semi-conducteurs, y compris des rainures en V de haute précision, des interconnexions, des gravures de grille et des trous traversants. Le processus de gravure/ashing peut être décalé avec précision dans le plan X-Y pour une large gamme de matériaux, y compris le silicium polycristallin, l'aluminium, le SiO2, le Si3N4 et les couches de collage. En outre, le graveur/asher est compatible avec une gamme d'accessoires, y compris un ensemble de modèles de programmation universels, une variété de plateaux d'échantillonnage spécifiques au processus, et un certain nombre de bras de chargement et de déchargement automatisés. Le graveur/asher dispose également d'un système d'imagerie sans distorsion, offrant à l'utilisateur une vue claire et détaillée des substrats en cours de traitement. Dans l'ensemble, MARCH AP-600/300 est un excellent graveur/asher pour des applications de production de semi-conducteurs de précision. Doté d'un large éventail de paramètres de processus, de bras de chargement/déchargement automatisés et d'un système d'imagerie sans distorsion, ce graveur/asher est conçu pour répondre aux exigences de gravure et d'ashing, même les plus complexes.
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