Occasion NORDSON MARCH ProVIA #9374850 à vendre en France

NORDSON MARCH ProVIA est un graveur à sec conçu pour le traitement semi-conducteur et optoélectronique. ProVIA est utilisé pour la gravure profonde, la planarisation et le tissage d'une large gamme de matériaux allant de la plaquette de silicium au verre. Il a un environnement faible en particules, un environnement sous vide et une puissance de traitement élevée. NORDSON MARCH ProVIA est un équipement fiable, stable et de haute précision. Il est très configurable pour diverses applications et comprend une alimentation RF accordable et une chambre à vide. Les principaux composants du système sont une chambre de processus, des modules de charge/déchargement, une source d'alimentation par induction RF, du matériel auxiliaire et des systèmes de contrôle de processus. La chambre de procédé de ProVIA est équipée de 40 portes ouvertes et de 5 ensembles d'échantillons pour plus de commodité. Il offre une excellente uniformité de planarisation, permettant des résultats reproductibles. Son unité avancée de régulation de la température isotherme assure le contrôle de la température à travers le substrat jusqu'à 800 ° C Il existe également une machine de distribution de gaz non uniforme, qui fournit des temps de processus longs et des vitesses de gravure uniformes sur tout le substrat. NORDSON MARCH L'alimentation RF de ProVIA est conçue pour rester stable même lors du traitement de plaquettes lourdement chargées. Son outil de contrôle RF avancé offre plusieurs paramètres de réglage, tels que le dépassement et l'hystérisis, qui fournissent un excellent contrôle de l'uniformité des processus et de la vitesse de gravure. L'actif dispose également d'un modèle de surveillance/autorisation de haute précision, permettant à l'utilisateur d'ajuster les paramètres du processus en temps réel. ProVIA est également conçu pour des délais d'exécution rapides, avec un cycle de traitement court de seulement 30 secondes. Il dispose d'un entretien peu coûteux, la plupart des modules et pièces étant facilement remplacés. Il est efficace et ergonomique, et nécessite un minimum d'espace de fonctionnement. Son temps de traitement rapide et ses jeux d'échantillons multiples en font une excellente option pour les applications nécessitant un débit élevé. NORDSON MARCH ProVIA est une solution complète et fiable de gravure à sec pour des applications de gravure profonde, de planarisation et de fermentation à travers un large éventail de matériaux. Il offre une excellente uniformité, des temps de traitement longs et des délais de traitement rapides, ce qui en fait un choix idéal pour le traitement semi-conducteur et optoélectronique.