Occasion NOVELLUS Aura 2000LL #293594774 à vendre en France

NOVELLUS Aura 2000LL est une solution de graveur/asher à la fine pointe de la technologie utilisée dans les fabriques de semi-conducteurs. Construit à partir de matériaux durables et de technologies de pointe, Aura 2000LL fournit un traitement rapide et précis des substrats dans une variété de tailles granulaires. Sa chambre de processus a un diamètre intérieur de 500 mm pour accueillir de grands substrats, et son uniformité spatiale optimisée de gravure/cendrage permet d'assurer d'excellents résultats de processus. La conception de la machine fermée de NOVELLUS Aura 2000LL fonctionne efficacement grâce à de multiples sources d'graveur, à l'évacuation des particules et aux systèmes de ventilation. Il dispose également d'une maintenance à faible coût, par rapport aux configurations de gravure traditionnelles, en raison de sa fonction ascendante. De plus, l'outil offre un contrôle multi-zones programmable, permettant une flexibilité maximale du processus. En effet, la machine est équipée de trois sources de graveur, une source VHF, une source hyperfréquence et une source à faisceau large. La source VHF est la plus couramment utilisée, et peut fournir une capacité multi-zones pour graver des substrats petits ou grands sans avoir à réduire le diamètre de la chambre. La polyvalence de cette source de graveur permet à Aura 2000LL de traiter avec précision un large éventail de matériaux et de profondeurs de gravure. De plus, son fonctionnement haute fréquence et haute puissance contribue au maintien d'homogénéités de processus élevées, ce qui le rend apte à l'application dans les mouvements de produits à haut volume. De même, la source hyperfréquence NOVELLUS Aura 2000LL offre une approche de gravure multi-modes avec des taux de traitement élevés et des résultats de haute qualité. La source large est cependant utilisée pour traiter rapidement des substrats à l'aide d'un faisceau d'électrons à haute énergie. Ce faisceau est capable d'induire une charge non désirée, nécessitant en fin de compte une neutralisation et la mise en place de plaques d'anode. Enfin, Aura 2000LL se distingue des autres solutions de gravure chimique par ses opérations CIP (clean in place) fiables. Ce procédé de purge chimique intégrée aide à éliminer et à empêcher la formation de contaminants, en veillant à ce que la chambre de gravure soit remplie de l'environnement le plus propre possible. Cette auto-maintenance innovante de NOVELLUS Aura 2000LL contribue à améliorer sa répétabilité et sa reproductibilité pour des capacités de processus avancées. Faisant partie de la famille primée de produits NOVELLUS, Aura 2000LL se distingue des autres systèmes de gravure par sa flexibilité pour accueillir une variété de tailles de substrats et de profondeurs de gravure de haute qualité. Son uniformité spatiale optimisée de gravure/cendrage et son fonctionnement à grande vitesse le rendent idéal pour des applications très exigeantes dans les fabriques de semi-conducteurs.