Occasion NOVELLUS Gamma 2130 #293627326 à vendre en France
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ID: 293627326
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
PR Stripper, 12"
BROOKS TM V6 Fixload
KEYENCE Light curtain
YASKAWA Aligner
02-169208-00 EFEM Robot
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
UI Panel
RF Signal cable
Loadport
IU Panel
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
GXT type
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load/unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2003 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130 est un graveur/asher conçu pour des applications à haute productivité. La technologie de procédé, la conception et les caractéristiques uniques de l'équipement lui permettent de fournir des opérations de gravure et de cueillette peu coûteuses et performantes. Gamma 2130 est idéal pour le développement de processus de nœud de technologie avancée et rentable, la production de fabrication et la maintenance. NOVELLUS Gamma 2130 est construit avec une empreinte compacte, ce qui le rend adapté à une variété de besoins d'application et de débit. La chambre de processus peut traiter jusqu'à huit plaquettes, avec un contrôle total des paramètres de la recette, permettant la répétabilité du processus. La tourelle est équipée d'une tête de douche à quartz et d'une tête de douche à faisceau d'électrons, ce qui permet une large gamme d'options de processus. Le système est piloté par un contrôleur de processus puissant, qui offre un environnement de processus stable et dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive. La Gamma 2130 est équipée d'un générateur d'énergie multi-impulsions avancé. Ce générateur d'énergie ajuste et compense automatiquement la charge thermique dans la chambre de traitement, fournissant une fenêtre de processus cohérente. Le générateur d'énergie dispose également d'une fonction avancée de contrôle des processus, qui maintient automatiquement des conditions optimales de gravure et de cueillette. Le contrôleur de processus avancé permet également d'assurer des paramètres de processus stables, y compris les temps de gravure et de cendrage, la pression et la température. NOVELLUS Gamma 2130 est compatible avec une large gamme de procédés chimiques et est capable de travailler avec des dés simples ou multiwafer. En outre, l'unité est conçue pour être facilement mise à niveau avec des chambres supplémentaires et diverses autres options. Gamma 2130 prend également en charge la surveillance et le contrôle en ligne et hors ligne de toutes les fonctions de processus. Dans l'ensemble, NOVELLUS Gamma 2130 offre une solution de gravure et de cendrage efficace et performante pour diverses applications. Le contrôle robuste et la précision des processus de la machine en font un choix idéal pour les processus de développement et de production. Il offre également stabilité, répétabilité et fiabilité pour produire des pièces uniformes avec des finitions de surface de haute qualité.
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