Occasion NOVELLUS Gamma 2130 #293627328 à vendre en France
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ID: 293627328
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
PR Stripper, 12"
GXT Chamber
YASKAWA Aligner
KEYENCE Light curtain
(5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators
(2) Generator racks
BROOKS TM V6 Fixload
02-169208-00 EFEM Robot
UI Panel
IU Panel
RF Signal cable
Loadport
Robot station
Power rack
Process chamber:
YASKAWA Spindle
Express type: Bell jar and quartz tube upgraded
(4) EPD
(5) CPMX-3000 RF Matchers
(5) 02-352103-00 RF Sources
(4) BROOKS MFC
Load / Unload port
HDIS Pedestal
Fixed pedestal
Stage: Preheat
Athena computer
UI Computer
MDC ISO Gate valve
NC Throttle valve
V-TEX Slit valve
MKS 10 Torr manometer
Gas box: O2, N2, H2N2, CF4
2004 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130 est un graveur/asher de haute précision conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher entièrement automatisé qui offre une gamme complète de capacités de processus et permet la production de dispositifs de haute performance dans une variété de tailles de plaquettes. Il est équipé d'une chambre PECVD de pointe, capable de produire des dépôts uniformes et de haute qualité de films de nitrure, d'oxynitrure et de silicium polycristallin. Gamma 2130 dispose également d'un système d'imagerie haute résolution pour la conception de mise en page et le masquage précis pour la gravure ou le cendrage précis. NOVELLUS Gamma 2130 est capable de déposer ou de graver plusieurs couches d'épaisseurs et de dimensions différentes à un débit élevé. Il a une vitesse de gravure maximale de 1000A/min et peut obtenir des résultats reproductibles avec uniformité sur des plaquettes de 50mm. La plateforme offre un contrôle inégalé des concentrations d'espèces réactives et de la température du substrat. En outre, il peut être configuré avec un ensemble de systèmes de distribution de gaz et de contrôle de processus pour supporter une variété d'applications de dépôt et de gravure. Gamma 2130 est construit à l'aide de la dernière technologie et est évalué pour une pression de 1000mBar. Il est équipé d'un système de contrôle et de contrôle de pointe de haute précision pour assurer une métrologie exacte et un contrôle de processus sur une variété de tailles et de matériaux de plaquettes. Les systèmes d'imagerie avancés et les configurations logicielles permettent d'améliorer les rendements et la cohérence des processus de revêtement et de gravure. Le système est également conçu pour les performances en poussières élevées et les taux de dépôt ou de gravure. NOVELLUS Gamma 2130 offre le plus haut niveau de sécurité et de fiabilité possible, grâce à ses mécanismes de sécurité intégrés et ses systèmes redondants de protection. Il est conçu pour fonctionner sans arrêt pendant de longues périodes et est facilement personnalisable en fonction des besoins de l'application souhaitée. Gamma 2130 est un graveur/asher robuste et avancé qui peut fournir des solutions flexibles, fiables et rentables pour tout processus semi-conducteur.
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