Occasion NOVELLUS Gamma 2130 #293627328 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
Gamma 2130
ID: 293627328
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
PR Stripper, 12" GXT Chamber YASKAWA Aligner KEYENCE Light curtain (5) ENI GHW-50A-04 RF Rack generators (2) Generator racks BROOKS TM V6 Fixload 02-169208-00 EFEM Robot UI Panel IU Panel RF Signal cable Loadport Robot station Power rack Process chamber: YASKAWA Spindle Express type: Bell jar and quartz tube upgraded (4) EPD (5) CPMX-3000 RF Matchers (5) 02-352103-00 RF Sources (4) BROOKS MFC Load / Unload port HDIS Pedestal Fixed pedestal Stage: Preheat Athena computer UI Computer MDC ISO Gate valve NC Throttle valve V-TEX Slit valve MKS 10 Torr manometer Gas box: O2, N2, H2N2, CF4 2004 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130 est un graveur/asher de haute précision conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher entièrement automatisé qui offre une gamme complète de capacités de processus et permet la production de dispositifs de haute performance dans une variété de tailles de plaquettes. Il est équipé d'une chambre PECVD de pointe, capable de produire des dépôts uniformes et de haute qualité de films de nitrure, d'oxynitrure et de silicium polycristallin. Gamma 2130 dispose également d'un système d'imagerie haute résolution pour la conception de mise en page et le masquage précis pour la gravure ou le cendrage précis. NOVELLUS Gamma 2130 est capable de déposer ou de graver plusieurs couches d'épaisseurs et de dimensions différentes à un débit élevé. Il a une vitesse de gravure maximale de 1000A/min et peut obtenir des résultats reproductibles avec uniformité sur des plaquettes de 50mm. La plateforme offre un contrôle inégalé des concentrations d'espèces réactives et de la température du substrat. En outre, il peut être configuré avec un ensemble de systèmes de distribution de gaz et de contrôle de processus pour supporter une variété d'applications de dépôt et de gravure. Gamma 2130 est construit à l'aide de la dernière technologie et est évalué pour une pression de 1000mBar. Il est équipé d'un système de contrôle et de contrôle de pointe de haute précision pour assurer une métrologie exacte et un contrôle de processus sur une variété de tailles et de matériaux de plaquettes. Les systèmes d'imagerie avancés et les configurations logicielles permettent d'améliorer les rendements et la cohérence des processus de revêtement et de gravure. Le système est également conçu pour les performances en poussières élevées et les taux de dépôt ou de gravure. NOVELLUS Gamma 2130 offre le plus haut niveau de sécurité et de fiabilité possible, grâce à ses mécanismes de sécurité intégrés et ses systèmes redondants de protection. Il est conçu pour fonctionner sans arrêt pendant de longues périodes et est facilement personnalisable en fonction des besoins de l'application souhaitée. Gamma 2130 est un graveur/asher robuste et avancé qui peut fournir des solutions flexibles, fiables et rentables pour tout processus semi-conducteur.
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