Occasion NOVELLUS Gamma 2130 #9260075 à vendre en France
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ID: 9260075
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Asher, 12"
(2) PM
EFEM
(2) GHW50A
2005 vintage.
NOVELLUS Gamma 2130 est un outil avancé de gravure/cendres qui fournit une capacité de processus supérieure et la fiabilité pour une variété d'applications de gravure/cendres. Il est optimisé pour répondre aux besoins des processus de fabrication CMOS, offrant un contrôle supérieur des fonctionnalités, l'uniformité des processus et le temps de cycle pour les applications à haut volume. Gamma 2130 dispose d'un design avancé à trois poutres qui fournit des profils muraux à quatre faces uniformes pour le traitement de haut rapport d'aspect. Il utilise un interféromètre ultra-rapide unique qui maintient un emplacement précis du faisceau pour des performances de gravure/cendres stables. L'outil comprend également une ouverture à fente réglable pour le réglage du processus sur une large gamme de tailles de plaquettes, et un procédé avancé de gravure sèche pour une protection arrière fiable. NOVELLUS Gamma 2130 a une architecture à haut débit qui permet un fonctionnement sans surveillance jusqu'à 24 heures. Il utilise une manipulation robotique complète pour une intégration transparente avec d'autres machines de l'usine. Des capteurs intégrés et des boucles de contrôle en retour assurent une surveillance continue des performances et une vérification de la stabilité. Le système est également équipé d'une technologie de diagnostic avancée. Il dispose d'un affichage de console amélioré qui fournit un suivi en temps réel des paramètres de processus et des performances du système. De plus, Gamma 2130 fournit des données d'entrée non uniformes pour améliorer les recettes et les prédictions de modèles. NOVELLUS Gamma 2130 est un puissant outil de gravure/cendres conçu pour répondre aux exigences des processus de fabrication CMOS les plus exigeants. Il offre un contrôle exceptionnel des caractéristiques, une plus grande uniformité des processus et des temps de cycle plus courts. La conception avancée de la machine à trois poutres et des diagnostics sophistiqués en font un outil puissant et fiable pour une variété d'applications de gravure/cendres.
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