Occasion NOVELLUS Gamma 2130 #9377872 à vendre en France

NOVELLUS Gamma 2130 est un graveur/asher à haute température à base de plasma développé pour le traitement au niveau des plaquettes dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'équipement est conçu pour répondre aux spécifications rigoureuses du processus de l'industrie et offre une uniformité de gravure supérieure avec une reproductibilité et une répétabilité inégalées. Gamma 2130 assure un contrôle précis de la profondeur de gravure, du rapport d'aspect et de la rugosité de surface, permettant des structures de dispositifs de haute performance telles que des jonctions ultra-peu profondes et des structures de doigts de gâchette. Il offre également une excellente uniformité et sélectivité plasmatique, assurant la plus haute qualité de structure pour chaque appareil. Le système utilise la technologie du plasma à couplage inductif (ICP) et dispose d'une source de plasma à résonance cyclotron électronique à faisceau large qui offre une sélectivité de gravure supérieure et un taux de gravure aussi bas que 0,2 nm/min. Sa source d'énergie ICP fournit une excellente uniformité du processus sur l'ensemble de la plaquette. L'unité comprend une machine de contrôle Emerson ASC-1000 pour assurer un contrôle serré des processus et améliorer la répétabilité et la reproductibilité de chaque processus de gravure. NOVELLUS Gamma 2130 dispose d'un mandrin électrostatique à voie étroite (ESC) auto-aligné en céramique pour maintenir la plaquette pendant le traitement. L'ESC assure une grande uniformité de la température et de la pression du mandrin du suscepteur, assurant une vitesse de gravure uniforme sur l'ensemble de la plaquette. Gamma 2130 dispose également d'un panneau d'interface gaz (GIP) qui permet un chargement et un déchargement faciles du gaz, ainsi qu'un contrôle précis des débits de gaz réactifs et du mélange. L'outil offre une flexibilité dans le choix des gaz de procédé et leur combinaison, offrant une grande variété d'options de processus pour diverses exigences d'application. Le processus de gravure sur NOVELLUS Gamma 2130 est optimisé à l'aide d'un ellipsomètre in situ pour la détection en temps réel du point d'extrémité de gravure. Il offre également des fonctionnalités diagnostiques intégrées telles que le développement de processus, l'optimisation des chambres et l'analyse post-traitement. Gamma 2130 peut être intégré facilement dans un environnement de salle blanche et offre un faible coût d'exploitation, le rendant très efficace et rentable. Son homogénéité et sa sélectivité de gravure supérieures le rendent adapté à un large éventail d'applications telles que les processus de gravure de transistors, de condensateurs et de résistances.