Occasion NOVELLUS Gamma 300 #132117 à vendre en France

NOVELLUS Gamma 300 est un graveur/asher électrochimique monobloc conçu pour être utilisé dans le processus avancé de lithographie photomasque. Il est équipé d'un système plasma puissant capable de produire jusqu'à 70 watts de puissance RIE et peut graver du polysilxième, de l'oxyde de silicium et de l'aluminium jusqu'à 2700 Angströms de profondeur. Gamma 300 utilise plusieurs techniques de gravure avancées, dont la gravure ionique réactive par grille de contrôle (CGRIE) et la gravure planaire (PE). CGRIE est une combinaison de gravure à double couche et de masquage simple ou multiple. PE permet de contrôler avec précision les gravures verticales à haut rapport d'aspect. Les deux techniques produisent des modèles uniformes de haute qualité à un rythme très élevé. NOVELLUS Gamma 300 utilise également une chambre de procédé brevetée qui nécessite un entretien minimal et a une reproductibilité étroite de la profondeur de gravure. Il a un fonctionnement basse pression et basse température qui réduit la quantité de déchets produits et nécessite moins d'énergie que les autres graveurs monobloc. Le système utilise un stockeur de plaquettes, un module de chargement et de déchargement, un manipulateur robotique et divers modules de contrôle. Tous ces modules sont contrôlés par une interface tactile facile à utiliser qui permet aux opérateurs de naviguer dans les différents processus de gravure sans aucune difficulté. Avec un excellent débit de 30 plaquettes/heure et un processus de gravure entièrement automatisé, Gamma 300 est un excellent choix pour toute application de gravure et de lithographie photomasque.