Occasion NOVELLUS Gamma Express #293618743 à vendre en France

ID: 293618743
Taille de la plaquette: 12"
Stripper / Asher, 12" MF: GAMMA 2130 Upgrade Wet process OHT PIO Sensor FOUP (3) Carrier stages GEM / CIM JGJ Earth leakage breaker Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue EMO: Front (2) Rears Interconnect hardware: PM to pump 50 ft Cables: TM to sub panel, 100 ft MDP Powerbox External interlocks Etcher chamber: Positions 1 to 6 RF Cable length: RFG to matcher 30 ft MKS GHW-50A Generator HI-THLD (XPR Type) Standard chamber kit Wafer lift mechanism: Fin O-Rings: Fluorosilicon / TEV Gate valve: Barrier seal door Gas system type: (4) Gases FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller Cassette ID: Hermos carrier ID User interface options: Side and front monitor UI Conditioning station Monitor: Flat panel display touch screen type Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW UPS Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size 1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM 2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM 3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM 4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM Does not include: Dry pumps Hard Disk Drive (HDD) No monitor (Windows) Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express est un appareil graveur/asher qui est utilisé dans la production de circuits intégrés haute performance. Il est capable de produire une variété de masques haute résolution, de couches de contact et de traces métalliques dans un certain nombre de matériaux avancés, y compris le silicium amorphe, le silicium polycristallin, le tungstène, l'or et d'autres matériaux conducteurs. C'est un outil important dans la fabrication de microélectroniques, et peut produire des motifs complexes en de courtes périodes de temps avec une grande fiabilité. Les principaux composants de Gamma Express sont son ordinateur central et son système de contrôle associé. L'ordinateur central abrite le graveur/asher proprement dit, qui est capable d'effectuer des étapes de gravure et de dépôt très précises et contrôlables. Le système peut fonctionner dans un large éventail de conditions de processus telles que la pression, la température, le temps de séjour et l'environnement de gravure. Il est également capable de cycles de gravure multiples et peut graver avec précision un large éventail de matériaux pour le prototypage. NOVELLUS Gamma Express est également capable de produire des images précises et reproductibles pour l'inspection et la vérification. Il dispose de capacités d'inspection optique avancées utilisant une technologie non-contact et non-destructive pour détecter tout défaut avant la gravure. Ceci peut également être utilisé pour détecter tout problème fonctionnel avant la gravure et protéger la précision du processus de gravure. Gamma Express est conçu pour une grande vitesse, haute performance et haute précision. Il atteint une vitesse de dépôt très élevée, et est capable d'obtenir le résultat souhaité en quelques minutes. Le système dispose également de multiples sources de gaz permettant un excellent contrôle du processus de gravure. NOVELLUS Gamma Express dispose de fonctions de contrôle avancées et est capable de travailler avec des gaz de procédé à la fois humides et secs, permettant d'obtenir le plus haut niveau de précision de gravure. Gamma Express est également équipé de dispositifs de sécurité avancés pour la protection du personnel et des équipements. Ces caractéristiques comprennent une surveillance avancée, des alarmes et un arrêt d'urgence intégré qui s'active en cas d'irrégularités. En résumé, NOVELLUS Gamma Express est un appareil de graveur/asher très avancé qui peut produire des motifs très précis et reproductibles dans une variété de matériaux rapidement et de manière fiable. Il est conçu pour une grande vitesse et une grande précision et est équipé d'une variété de fonctions de sécurité pour protéger le personnel et l'équipement.
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