Occasion NOVELLUS Gamma Express #293618743 à vendre en France
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ID: 293618743
Taille de la plaquette: 12"
Stripper / Asher, 12"
MF: GAMMA 2130 Upgrade
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Cables: TM to sub panel, 100 ft
MDP Powerbox
External interlocks
Etcher chamber: Positions 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher 30 ft
MKS GHW-50A Generator
HI-THLD (XPR Type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
Monitor: Flat panel display touch screen type
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express est un appareil graveur/asher qui est utilisé dans la production de circuits intégrés haute performance. Il est capable de produire une variété de masques haute résolution, de couches de contact et de traces métalliques dans un certain nombre de matériaux avancés, y compris le silicium amorphe, le silicium polycristallin, le tungstène, l'or et d'autres matériaux conducteurs. C'est un outil important dans la fabrication de microélectroniques, et peut produire des motifs complexes en de courtes périodes de temps avec une grande fiabilité. Les principaux composants de Gamma Express sont son ordinateur central et son système de contrôle associé. L'ordinateur central abrite le graveur/asher proprement dit, qui est capable d'effectuer des étapes de gravure et de dépôt très précises et contrôlables. Le système peut fonctionner dans un large éventail de conditions de processus telles que la pression, la température, le temps de séjour et l'environnement de gravure. Il est également capable de cycles de gravure multiples et peut graver avec précision un large éventail de matériaux pour le prototypage. NOVELLUS Gamma Express est également capable de produire des images précises et reproductibles pour l'inspection et la vérification. Il dispose de capacités d'inspection optique avancées utilisant une technologie non-contact et non-destructive pour détecter tout défaut avant la gravure. Ceci peut également être utilisé pour détecter tout problème fonctionnel avant la gravure et protéger la précision du processus de gravure. Gamma Express est conçu pour une grande vitesse, haute performance et haute précision. Il atteint une vitesse de dépôt très élevée, et est capable d'obtenir le résultat souhaité en quelques minutes. Le système dispose également de multiples sources de gaz permettant un excellent contrôle du processus de gravure. NOVELLUS Gamma Express dispose de fonctions de contrôle avancées et est capable de travailler avec des gaz de procédé à la fois humides et secs, permettant d'obtenir le plus haut niveau de précision de gravure. Gamma Express est également équipé de dispositifs de sécurité avancés pour la protection du personnel et des équipements. Ces caractéristiques comprennent une surveillance avancée, des alarmes et un arrêt d'urgence intégré qui s'active en cas d'irrégularités. En résumé, NOVELLUS Gamma Express est un appareil de graveur/asher très avancé qui peut produire des motifs très précis et reproductibles dans une variété de matériaux rapidement et de manière fiable. Il est conçu pour une grande vitesse et une grande précision et est équipé d'une variété de fonctions de sécurité pour protéger le personnel et l'équipement.
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