Occasion NOVELLUS Gamma Express #293618750 à vendre en France
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ID: 293618750
Taille de la plaquette: 12"
Stripper / Asher, 12"
Wet process
OHT PIO Sensor
FOUP Carrier
(3) Carrier stages
GEM / CIM JGJ
Earth leakage breaker
Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue
EMO:
Front
(2) Rears
Interconnect hardware: PM to pump 50 ft
Interconnect cables: TM to subpanel 100 ft
MDP Power box
External interlocks
MF: Gamma 2130 upgrade to gamma express
Etch chamber: Gamma 2130 / Position 1 to 6
RF Cable length: RFG to matcher, 30 ft
MKS GHW-50A Generator
Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW
HI-THLD (XPR type)
Standard chamber kit
Wafer lift mechanism: Fin
O-Rings: Fluorosilicon / TEV
Gate valve: Barrier seal door
Gas system type: (4) Gases
FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller
Cassette ID: Hermos carrier ID
User interface options: Side and front monitor UI
Conditioning station
(2) Monitors
UPS
Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size
1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM
2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM
3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM
4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM
Does not include:
Dry pumps
Hard Disk Drive (HDD)
No monitor (Windows)
Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express est une machine de pointe de gravure et de cendrage conçue pour assurer la précision de la gravure et du cendrage de films minces sur un large éventail de matériaux. L'unité est très polyvalente, capable de manipuler une grande variété de substrats et de mettre en œuvre de multiples procédés dont la gravure sèche, la gravure humide, la lithographie sans masque et la cendre de plasma. Gamma Express est un choix idéal pour toute industrie nécessitant un traitement fin précis et reproductible, des semi-conducteurs aux appareils MEMS. NOVELLUS Gamma Express dispose d'une chambre de processus entièrement réglable, permettant d'utiliser un large éventail de substrats et de paramètres de processus. La chambre est pressurisée pour maintenir la température et la pression stables pour une gravure/cueillette précise. Il accueille une grande taille de substrat allant de 2x2mm à 5x5mm, augmentant le débit du processus. La machine est également équipée d'un ensemble de capteurs d'images numériques haute résolution pour fournir un contrôle de rétroaction pour le processus. Le module de procédé intégré a une entrée directe pour contrôler la puissance fournie aux différentes étapes du processus, permettant un contrôle précis de la profondeur de gravure/cueillette et de la sélectivité. Le système dispose également d'un système de métrologie de matrice d'images propriétaire qui mesure avec précision les résultats de gravure et d'ashing en temps réel. Le logiciel de processus intégré fournit une gamme complète de statistiques, y compris le taux de gravure, le taux d'amincissement des oxydes, la sélectivité et l'uniformité. Gamma Express est une machine de gravure/cendrage très fiable, avec des coûts de maintenance très faibles et une facilité d'entretien. Il est conçu pour être rapidement mis en place en un minimum de temps, avec une formation minimale de l'opérateur nécessaire. La machine répond à toutes les exigences d'automatisation, permettant l'intégration dans une ligne de production. L'unité est pilotée par un puissant PLC capable de conduire de multiples processus, y compris des produits chimiques auto-doseurs pour de grands substrats. NOVELLUS Gamma Express est un outil idéal pour le traitement de films minces, offrant des capacités de gravure et d'ashing précises. Le logiciel de processus intégré assure des résultats reproductibles, sans erreurs d'opérateur. La machine fournit des résultats précis tout en fournissant rapidement et de manière fiable un débit élevé. Avec ses capacités de gravure et de cendrage de haute précision, Gamma Express est un outil essentiel pour de nombreuses industries nécessitant un traitement en couches minces.
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