Occasion NOVELLUS Gamma Express #293618750 à vendre en France

ID: 293618750
Taille de la plaquette: 12"
Stripper / Asher, 12" Wet process OHT PIO Sensor FOUP Carrier (3) Carrier stages GEM / CIM JGJ Earth leakage breaker Signal tower: Red / Yellow / Green / Blue EMO: Front (2) Rears Interconnect hardware: PM to pump 50 ft Interconnect cables: TM to subpanel 100 ft MDP Power box External interlocks MF: Gamma 2130 upgrade to gamma express Etch chamber: Gamma 2130 / Position 1 to 6 RF Cable length: RFG to matcher, 30 ft MKS GHW-50A Generator Maximum power 5000 W + RF Match COMET 5 kW HI-THLD (XPR type) Standard chamber kit Wafer lift mechanism: Fin O-Rings: Fluorosilicon / TEV Gate valve: Barrier seal door Gas system type: (4) Gases FOUP / ATM Robot / 3 FOUP Backend / YASKAWA MP2300i controller Cassette ID: Hermos carrier ID User interface options: Side and front monitor UI Conditioning station (2) Monitors UPS Gas no / MFC Model / Gas / MFC Size 1 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / O2 / 50 SLM 2 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / N2 / 7 SLM 3 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / 4%H2N2 / 20 SLM 4 / STEC SEC-Z500 / SEC-Z512/Z522 / CF4 / 50 SCCM Does not include: Dry pumps Hard Disk Drive (HDD) No monitor (Windows) Lamp and lamp holder non-functional.
NOVELLUS Gamma Express est une machine de pointe de gravure et de cendrage conçue pour assurer la précision de la gravure et du cendrage de films minces sur un large éventail de matériaux. L'unité est très polyvalente, capable de manipuler une grande variété de substrats et de mettre en œuvre de multiples procédés dont la gravure sèche, la gravure humide, la lithographie sans masque et la cendre de plasma. Gamma Express est un choix idéal pour toute industrie nécessitant un traitement fin précis et reproductible, des semi-conducteurs aux appareils MEMS. NOVELLUS Gamma Express dispose d'une chambre de processus entièrement réglable, permettant d'utiliser un large éventail de substrats et de paramètres de processus. La chambre est pressurisée pour maintenir la température et la pression stables pour une gravure/cueillette précise. Il accueille une grande taille de substrat allant de 2x2mm à 5x5mm, augmentant le débit du processus. La machine est également équipée d'un ensemble de capteurs d'images numériques haute résolution pour fournir un contrôle de rétroaction pour le processus. Le module de procédé intégré a une entrée directe pour contrôler la puissance fournie aux différentes étapes du processus, permettant un contrôle précis de la profondeur de gravure/cueillette et de la sélectivité. Le système dispose également d'un système de métrologie de matrice d'images propriétaire qui mesure avec précision les résultats de gravure et d'ashing en temps réel. Le logiciel de processus intégré fournit une gamme complète de statistiques, y compris le taux de gravure, le taux d'amincissement des oxydes, la sélectivité et l'uniformité. Gamma Express est une machine de gravure/cendrage très fiable, avec des coûts de maintenance très faibles et une facilité d'entretien. Il est conçu pour être rapidement mis en place en un minimum de temps, avec une formation minimale de l'opérateur nécessaire. La machine répond à toutes les exigences d'automatisation, permettant l'intégration dans une ligne de production. L'unité est pilotée par un puissant PLC capable de conduire de multiples processus, y compris des produits chimiques auto-doseurs pour de grands substrats. NOVELLUS Gamma Express est un outil idéal pour le traitement de films minces, offrant des capacités de gravure et d'ashing précises. Le logiciel de processus intégré assure des résultats reproductibles, sans erreurs d'opérateur. La machine fournit des résultats précis tout en fournissant rapidement et de manière fiable un débit élevé. Avec ses capacités de gravure et de cendrage de haute précision, Gamma Express est un outil essentiel pour de nombreuses industries nécessitant un traitement en couches minces.
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