Occasion NOVELLUS Gamma Express #293642130 à vendre en France

NOVELLUS Gamma Express est un équipement de gravure/asher avancé conçu pour exécuter des applications de gravure et d'ashing critiques, à haut volume et à haut rapport d'aspect dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et diélectriques. Ce système de gravure/asher de pointe est conçu pour assurer une gravure et une cueillette à haute vitesse et haute précision de divers substrats, principalement du silicium et d'autres matériaux semi-conducteurs, avec un débit, une uniformité de traitement et un rendement exceptionnels. Gamma Express est configuré avec une conception très efficace et intègre des technologies telles que les capacités de plasma à distance, les processus verticaux et orientés latéralement, la compatibilité linéaire RF et des matériaux de capacité, l'ingénierie de réduction du rayonnement, et une unité de traitement de substrat entièrement automatisée. Ces caractéristiques créent un environnement de gravure optimal qui réduit les risques associés aux opérations manuelles de manutention, d'assemblage et de contrôle. NOVELLUS Gamma Express est alimenté par une source de plasma d'azote, capable de délivrer du plasma de haute intensité, des vitesses de gravure rapides, et un processus homogène. La source de plasma à distance assure des processus de gravure uniformes et répétables, sur une large gamme de matériaux, y compris le silicium, le cuivre, le germanium, le titane, l'aluminium et d'autres métaux. Cette configuration avancée de ligne de gravure dispose d'une durée maximale de plasma de huit minutes, et des vitesses de gravure jusqu'à 6 μ m/min, selon le matériau du substrat. La manipulation entièrement automatisée du substrat est très fiable et efficace, offrant un traitement rapide et répétable avec une manutention manuelle réduite et une entrée de pièces. Gamma Express comprend également une machine de contrôle de processus intégrée avancée qui permet aux utilisateurs de surveiller, d'ajuster et de programmer l'outil pour une performance optimale. Cet actif de contrôle avancé offre quatre recettes de processus de gravure et d'ashing, chacune avec un paramètre de « vitesse d'attaque » réglable, pour accueillir un large éventail de substrats et de matériaux. Les utilisateurs peuvent également personnaliser leurs recettes de lignes de gravure pour atteindre des vitesses de débit plus élevées, ou pour optimiser leur processus à des couches ou des fonctionnalités spécifiques. NOVELLUS Gamma Express est conçu pour répondre aux exigences de fabrication à grande échelle et de haute précision. Ce modèle avancé de gravure/asher offre également une homogénéité de processus élevée, ce qui permet une fabrication de dispositifs à haut rendement et rentable. Gamma Express est conçu pour fournir la fiabilité et la répétabilité requises pour les exigences actuelles de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.