Occasion NOVELLUS Gamma Express #9169777 à vendre en France

NOVELLUS Gamma Express est un graveur/asher de haute précision conçu pour produire des caractéristiques de produit très précises sur une large gamme de substrats utilisés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il est conçu pour des applications de micro-usinage de haut débit et de haute précision, et est disponible en plusieurs configurations de chambre pour la gravure et le cendrage. Gamma Express est une plaque unique, multi-chambre etcher/asher équipement qui utilise des processus anisotropes et de gravure sèche. Il est capable de produire des tailles de fonctionnalités jusqu'à 5 microns, et dispose d'un temps de traitement outil-wafer aussi rapide que 4 secondes. Il dispose d'une source Cryo ECR avancée et de deux gaz de procédé, l'oxygène et l'azote, pour offrir des procédés de gravure et de cueillette précis. Sa chambre Intermix comprend deux constituants (configurables par l'utilisateur) qui modifient la sélectivité et l'épaisseur de la gravure. Son Jet Etch Enhancer augmente la productivité par rapport à d'autres graveurs et cendres sur le marché. NOVELLUS Gamma Express est conçu avec un système de contrôle SENTRYX qui offre une unité de contrôle de processus entièrement intégrée et dispose d'un contrôle convivial, donnant à ses utilisateurs la possibilité de créer et de gérer des recettes de gravure et d'ashing avec son éditeur de recettes. Ses outils de diagnostic avancés aident à suivre la performance des outils et fournissent une analyse pour la maintenance prédictive. Il dispose également d'un JETON eXchange pour contrôler les processus de purge afin de réduire les temps d'arrêt des outils. De plus, Gamma Express comprend une chambre de serrure à double zone conçue pour réduire la manipulation et la contamination des plaquettes, réduisant ainsi les temps d'arrêt. Enfin, il dispose d'un robot double bras pour transférer les plaquettes en toute sécurité à une vitesse maximale afin de réduire le coût de possession. Avec sa machine de contrôle avancée et sa flexibilité pour le traitement de plusieurs substrats, NOVELLUS Gamma Express etcher/asher est un outil idéal pour tout environnement de production de semi-conducteurs. Il fournit des processus de gravure et d'ashing précis avec une productivité améliorée et un coût de propriété réduit.