Occasion NOVELLUS Gamma Express #9171640 à vendre en France

NOVELLUS Gamma Express est un graveur/asher avancé pour la microfabrication des semi-conducteurs. Il est conçu pour une grande vitesse, une très grande précision et une excellente uniformité de revêtement. Il est largement utilisé dans l'environnement fab pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Gamma Express est composé de deux composants principaux : 1) le condenseur, qui est une chambre à vide qui contient le gaz de gravure/cendres et le substrat ; et 2) le système de distribution électrique, qui est chargé de délivrer la sortie de la source au substrat. La source de gravure/cendres est un canon à faisceau d'électrons, qui génère des ions de haute énergie pour graver/cendres le matériau. L'interaction entre les électrons et les molécules de gaz crée le motif gravure/ashe sur le substrat. NOVELLUS Gamma Express offre une excellente uniformité pour les motifs de gravure/ashing grâce à son contrôle précis de la trajectoire du faisceau. Il est équipé de divers mandrins, collimateurs et systèmes optiques pour aligner avec précision le substrat et assurer une gravure homogène. L'etcher/asher comprend également diverses alimentations d'impulsions et un pilote asynchrone pour contrôler finement les paramètres du processus. Cela peut permettre un contrôle précis de la vitesse de gravure, de la profondeur, de l'uniformité, de la sélectivité, du rapport d'aspect de gravure, et plus encore. Gamma Express est également équipé de plusieurs dispositifs de sécurité avancés, tels que des détecteurs de particules, des moniteurs de vide et des moniteurs de contamination, afin de garantir la sécurité de l'environnement de travail. Les paramètres du processus tels que les réglages de puissance, le débit de gaz et la pression d'échappement peuvent tous être surveillés en temps réel pendant le fonctionnement. En termes de dimensionnement, NOVELLUS Gamma Express est assez compact, ne mesurant que 540 mm de large et 515 mm de profondeur. Ceci le rend adapté aux traitements semi-conducteurs de moyenne à grande échelle. Gamma Express est également économique, avec son prix compétitif qui en fait un choix populaire pour de nombreux processus de microfabrication. Dans l'ensemble, NOVELLUS Gamma Express est un graveur/asher avancé pour la microfabrication des semi-conducteurs, bénéficiant d'un excellent contrôle du procédé. Sa précision exceptionnelle, son homogénéité et ses mesures de sécurité le rendent idéal pour les applications de traitement des semi-conducteurs.