Occasion NOVELLUS / GASONICS A3010 #293815929 à vendre en France

NOVELLUS/GASONICS A3010 est un équipement semi-conducteur de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Plus précisément, NOVELLUS A3010 est un équipement de graveur/asher conçu pour réaliser des processus critiques dans la production de circuits intégrés et d'autres dispositifs microélectroniques. Cet outil est connu pour sa précision, sa fiabilité et sa polyvalence dans les applications de gravure et d'ashing. GASONICS A3010 dispose d'un design compact et modulaire qui permet une intégration facile dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. Il utilise la technologie plasma de pointe pour graver le silicium et les cendres, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et d'autres matériaux couramment utilisés dans le traitement des semi-conducteurs. Le système est équipé d'une gamme de gaz de procédé et de paramètres de contrôle pour adapter les processus de gravure et de cueillette aux exigences spécifiques du dispositif. L'un des points forts de A3010 est sa fonctionnalité bi-mode, qui lui permet de passer d'un mode gravure à l'autre sans heurt. En mode gravure, l'unité retire le matériau de la surface d'un substrat, créant des motifs et des caractéristiques précis nécessaires à la fabrication du dispositif. Le mode ashing, par contre, est utilisé pour retirer la résine photosensible et d'autres matières organiques du substrat après des étapes de gravure. NOVELLUS/GASONICS A3010 utilise une source de plasma haute fréquence pour générer des espèces réactives qui interagissent sélectivement avec la surface du substrat. Ceci permet un enlèvement précis et contrôlé des couches de matériaux sans affecter les structures sous-jacentes. La machine dispose de capacités avancées de contrôle de processus, y compris la détection d'endpoint, le contrôle d'uniformité et la surveillance de processus pour assurer des performances cohérentes et fiables sur toutes les plaquettes. NOVELLUS A3010 est équipé d'un outil de manipulation robotique des substrats qui permet le chargement et le déchargement automatisés des substrats, minimisant l'intervention des opérateurs et augmentant le débit. L'actif peut accueillir une variété de tailles de substrat, y compris des tailles standard de plaquettes semi-conductrices allant de 150 mm à 300mm, ce qui le rend adapté à une large gamme d'exigences de production. GASONICS A3010 est conçu avec des interfaces logicielles conviviales et des contrôles intuitifs pour faciliter le fonctionnement et la maintenance. Le modèle intègre des dispositifs de sécurité avancés et des systèmes réactifs de gestion du gaz afin d'assurer un environnement de fonctionnement sûr pour les installations de fabrication de semi-conducteurs. En outre, l'outil est équipé de capacités complètes de diagnostic et de dépannage pour faciliter la résolution rapide des problèmes et réduire les temps d'arrêt. Dans le résumé, l'équipement A3010 etcher/asher est un état de l'outil d'équipement de semi-conducteur d'art qui offre la gravure à l'eau forte de haute performance et les capacités ashing des processus de fabrication de semi-conducteur. Grâce à sa technologie plasma de pointe, à sa fonctionnalité bi-mode, à son système de manutention automatisé et à son interface conviviale, NOVELLUS/GASONICS A3010 est largement reconnu pour sa fiabilité, sa précision et son efficacité dans la production de dispositifs microélectroniques avancés.