Occasion NOVELLUS Vector Express AHMxT #9213313 à vendre en France

NOVELLUS Vector Express AHMxT est un équipement de gravure/asher à double chambre conçu pour des applications avancées de semi-conducteurs telles que l'isolation de tranchées peu profondes (STI). Il fournit une méthode très efficace et rentable pour la gravure/l'ashing des fils jusqu'à 150 nm dans la taille des caractéristiques. Vector Express AHMxT dispose de deux modules contrôlés indépendamment, permettant des processus de gravure et d'asher simultanés, et une chambre facilement accessible pour l'entretien et le nettoyage. La chambre de gravure de NOVELLUS Vector Express AHMxT est équipée d'un générateur de plasma multifréquence à haut débit qui peut traiter des couches de matériaux de 5 à 150 nm. Des procédés de type ALD/CVD peuvent également être réalisés lorsque la chambre est équipée de précurseurs sélectionnés. Utilisant une logique de commande intelligente, la chambre de gravure est capable d'atteindre des taux de gravure très élevés de manière très efficace et rentable. La chambre asher de Vector Express AHMxT utilise un spectromètre de masse source pour fournir une mesure précise des gaz de procédé et des températures de substrat, ainsi que des capacités améliorées de mélange des gaz. Le cendrier est capable de traiter des matériaux jusqu'à 150 nm en fonction de la taille avec un contrôle très précis. Le système est également équipé d'un chargeur d'étages de plaquettes pour un chargement et un déchargement faciles du substrat dans des applications telles que le traitement STI et damascène. Les applications courantes de NOVELLUS Vector Express AHMxT comprennent : l'isolation de tranchées peu profondes (STI), l'isolation de tranchées peu profondes (STI), les trous de contact, les tranchées de grille, les interconnexions verticales et horizontales et le traitement de damascène. L'unité est capable de produire des taux de gravure très élevés et une excellente uniformité et propreté de surface. De plus, Vector Express AHMxT offre une excellente wobble et répétabilité, permettant des rendements élevés et des caractéristiques cohérentes de l'appareil. Dans l'ensemble, NOVELLUS Vector Express AHMxT fournit aux fabricants de semi-conducteurs une machine de gravure/asher haute performance pour des applications avancées de fabrication et de traitement de dispositifs. Sa conception à double chambre permet la gravure et le cendrage simultanés, et son générateur de plasma avancé et son spectromètre de masse de source fournissent un contrôle précis et une excellente répétabilité. L'outil offre également des économies de coûts grâce à ses débits élevés et à son traitement efficace.