Occasion NOVELLUS Vector Express #9125995 à vendre en France

NOVELLUS Vector Express est un équipement haute performance de gravure et asher qui peut traiter une large gamme de piles de couches, y compris de nombreux nouveaux matériaux utilisés pour les technologies avancées de puces. Le système est basé sur une architecture Dual-Zone, avec deux zones de processus indépendantes pour les opérations de gravure et asher. L'architecture à double zone permet un débit et une flexibilité élevés avec une seule unité, tout en permettant une large gamme d'options de processus et de capacités. Vector Express peut traiter jusqu'à quatre substrats à la fois, ce qui fournit une plate-forme efficace et fiable pour la fabrication à haut volume. L'outillage de haute précision de la machine permet de contrôler avec précision les opérations de gravure et d'asher tout en minimisant les défauts et en améliorant le rendement. NOVELLUS Vector Express dispose d'une source de plasma haute densité, offrant une excellente uniformité et un taux de gravure de pointe dans l'industrie. L'outil peut atteindre une très faible uniformité CD et des spécifications de rugosité de la largeur de ligne pour les caractéristiques critiques de mise en page, ce qui lui permet d'être utilisé pour une grande variété de processus, y compris la fixation de haute précision des salicides. L'actif comprend également des fonctions avancées de contrôle des processus de gravure, telles que la rétroaction en temps réel du vide multi-zones, le contrôle amélioré du taux de gravure multi-points et la vision intégrée. Ces caractéristiques permettent un contrôle précis des exigences de dimensionnement et de composition des produits. Vector Express dispose également d'un contrôle étanche de la température de la chambre à plasma, lui permettant de traiter des matériaux sensibles à la température avec des caractéristiques de dimensions critiques extrêmement petites ou étroites. De plus, la chambre à plasma peut être chauffée ou refroidie, à volonté, pour divers matériaux ou paramètres de procédé. NOVELLUS Vector Express est le choix idéal pour les applications de gravure et asher qui nécessitent un débit élevé et la flexibilité. Il peut traiter une large gamme d'empilements de couches et de tailles de fonctionnalités, avec un contrôle dimensionnel serré et une excellente uniformité de processus. Les systèmes de contrôle et de vision avancés intégrés offrent une qualité de produit supérieure, ce qui fait de Vector Express un choix idéal pour les applications de gravure et d'asher à haut volume.