Occasion NOVELLUS Vector Express #9203793 à vendre en France
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ID: 9203793
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
PECVD System, 12"
2007 vintage.
NOVELLUS Vector Express est un équipement de gravure et de cendrage à grande vitesse conçu pour la flexibilité et les performances avancées des procédés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il combine une variété de technologies exclusives pour permettre la création d'une large gamme de circuits intégrés (IC) dans une seule chambre de traitement. Ce système offre des débits supérieurs, un coût de possession contrôlé et une efficacité spatiale optimale. Vector Express bénéficie d'un design innovant et autonome qui permet de l'installer et de l'installer avec un minimum d'effort et de perturbation opérationnelle. NOVELLUS Vector Express est utilisé dans une grande variété de processus de gravure et de cueillette. Selon la complexité de l'application, l'unité peut graver une seule couche d'un dispositif ou plusieurs couches dans un traitement en plusieurs étapes. Il peut également être utilisé pour une variété de tâches de nettoyage des plaquettes et de remplissage du dos. La machine est conçue avec deux composants principaux : la chambre de traitement principale et la chambre de transfert thermique. Ce dernier est un mini-four qui est utilisé pour générer des radicaux pour les processus de gravure, de cendrage et de recuit. Pour assurer une productivité maximale, Vector Express utilise une porte rotative sophistiquée, permettant le chargement et le déchargement rapides des plaquettes sans interrompre le cycle de traitement. Le processeur dispose également d'une interface utilisateur intuitive, avec des fonctionnalités et des paramètres facilement accessibles à l'écran tactile. L'outil peut stocker jusqu'à 8 recettes, permettant une commutation rapide et facile entre les processus. Une bibliothèque de compositions gazeuses couramment utilisées est également intégrée, permettant aux utilisateurs d'accéder rapidement à des mélanges gazeux fréquemment utilisés. NOVELLUS Vector Express est équipé d'une source de plasma à la fois résistive et inductive, permettant à l'actif d'obtenir une gravure et un cendrage de haute précision et à haut débit. Il utilise également le plasma basse fréquence pour réduire la production de particules tout en assurant une uniformité de gravure exceptionnelle. La conception robuste du modèle fonctionne avec une large gamme de gaz de procédé pour permettre une intégration optimale dans les lignes de production existantes. Enfin, Vector Express offre un excellent suivi et contrôle des processus, permettant des réglages en temps réel et des conditions de traitement optimisées. En résumé, NOVELLUS Vector Express est un graveur et asher avancé qui offre des débits supérieurs, une consommation d'espace efficace, d'excellentes fonctionnalités de contrôle et une interface utilisateur intuitive. Avec son design robuste et innovant, c'est un choix idéal pour les fabricants de puces qui cherchent à maximiser leurs capacités de production.
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