Occasion NOVELLUS Vector Express #9203794 à vendre en France
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ID: 9203794
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
PECVD System, 12"
2008 vintage.
NOVELLUS Vector Express est un équipement de gravure haut de gamme innovant conçu pour une production rentable et économe en temps dans les industries des semi-conducteurs à haut volume et des circuits intégrés. Utilisant Vector Process Control, le système Vector Express est construit autour de la plateforme éprouvée NOVELLUS, fournissant des résultats rapides et cohérents sur une large gamme d'applications de gravure. Fonctionnant à des vitesses allant jusqu'à 6 000 wafers par heure, NOVELLUS Vector Express a la capacité de graver des caractéristiques complexes de moins de 1 micron avec une répétabilité et une précision élevées. Vector Express a été conçu pour une uniformité absolue, permettant un meilleur contrôle des processus par rapport aux systèmes de gravure manuelle, et permettant aux ingénieurs de fabrication d'établir rapidement un processus de gravure très efficace. L'unité intégrée est équipée d'un module de processus standard (SPM) capable de contrôler et d'intégrer jusqu'à quatre chambres, ainsi que d'un module de répétition de grappes (CMR) avec chambres supplémentaires et contrôle de processus. La machine NOVELLUS Vector Express a une faible empreinte, ce qui la rend idéale pour une utilisation dans des lins de fabrication serrés et automatisés, tandis que son ensemble intégré de fonctionnalités et son évolutivité garantissent des performances à grande vitesse dans une gamme d'applications. L'etcher offre un contrôle en boucle fermée de la polarisation, de la tension, de la pression et de la température, permettant des paramètres de gravure précis et contrôlés, assurant plus de détails avec des erreurs minimisées. Vector Express est conçu pour la gravure activée par photons (PAE), un procédé qui utilise des impulsions lumineuses laser spécialisées pour graver des matériaux avec plus de précision et de résolution qu'un procédé graveur traditionnel. Il comprend également la technologie de la valve de vieillissement (VTT) dédiée aux opérations à distance et non surveillées, permettant le démarrage et l'arrêt automatisés sans intervention de l'opérateur. Dans l'ensemble, NOVELLUS Vector Express est conçu pour des performances de gravure optimales, avec un support matériel intégré pour un contrôle de processus supérieur. Comparé à de nombreux autres systèmes de gravure actuellement disponibles dans l'industrie, Vector Express offre des taux de traitement plus rapides tout en offrant des performances supérieures et des économies de coûts pour les emplois de production de masse.
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