Occasion NOVELLUS Vector Express #9210888 à vendre en France
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Vendu
ID: 9210888
Style Vintage: 2007
PECVD System
Vector processes: Advanced ashable hard mask
Facilities: Bottom
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user interface: Flat panel right
Load lock pump: Express load lock pump
Atmospheric robot: Friction end effector
Mounting for light tower:
Audio buzzer
Wall / Flush mount
System options:
Signal tower: 4 Color light tower (RYGB)
IMM Readiness: Over left load lock
Third FOUP Option
(3) Foup RF ID reader
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display package
Heated process manometer
Leak check shut off valve
2007 vintage.
NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher de pointe conçu pour offrir une qualité et des performances optimales pour la gravure et l'ashing dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il a été développé avec une technologie de pointe pour permettre la fabrication de puces de meilleure qualité à un rythme plus efficace avec des coûts de traitement moindres. Cela en fait l'outil parfait pour les fabricants qui cherchent à augmenter la production avec un meilleur rapport coût-efficacité. Vector Express est construit sur une plate-forme avancée qui fournit des méthodes de gravure/ashing supérieures pour un large éventail de matériaux. Il utilise un faisceau laser avec une vitesse de gravure/cueillette prédéterminée qui peut contrôler précisément le processus de gravure/cueillette. NOVELLUS Vector Express dispose également d'un équipement avancé de contrôle des processus qui permet d'optimiser les résultats et d'assurer une qualité uniforme sur les gravures/cendres. En outre, le système peut exécuter jusqu'à neuf recettes de traitement différentes, offrant la flexibilité de créer des modes personnalisables pour divers matériaux. En plus de maximiser la précision du processus de gravure/ashing, Vector Express fournit également une foule d'autres fonctionnalités qui en font l'une des solutions les plus avancées disponibles sur le marché. Cela comprend une unité de cendrage à basse température qui peut réduire le risque de dommages matériels tout en obtenant les résultats de gravure souhaités, ainsi qu'une machine de nettoyage et d'alignement de précision qui aide à réduire les artefacts d'image non uniformes. NOVELLUS Vector Express renforce encore ses performances déjà supérieures grâce à l'utilisation d'un outil avancé de verrouillage de charge à faible bruit pour une meilleure manipulation des plaquettes. Vector Express est également équipé d'une interface utilisateur intuitive et de nombreuses fonctionnalités de sécurité. Cela comprend un arrêt automatique en cas d'anomalies de processus, ainsi que la notification d'alarme et la surveillance des paramètres de gravure. Toutes ces fonctionnalités combinées font de NOVELLUS Vector Express un atout puissant et fiable pour la gravure. Avec sa technologie de pointe et ses fonctionnalités complètes, Vector Express est idéal pour offrir des performances de gravure/ashing supérieures sur une gamme de matériaux pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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