Occasion NOVELLUS Vector Sola #293641465 à vendre en France

NOVELLUS Vector Sola est un équipement de graveur/asher qui est utilisé pour graver et asher différentes couches de dispositifs semi-conducteurs. Ce système utilise un laser multi-faisceaux pour combiner avec précision gravure et cendre en une seule étape, permettant un prototypage rapide et la production de semi-conducteurs. L'unité est basée sur une machine de projection de traitement de la lumière numérique (DLP), combinée à un certain nombre de lentilles et de miroirs qui focalisent et dirigent un laser vers la zone de traitement. Le module DLP dispose d'un modulateur de lumière spatiale avancé (SLM) avec une longueur d'onde de 260 nm qui peut traiter des tailles de fonctionnalités aussi petites que 35nm. C'est la résolution la plus élevée de toute la génération actuelle de graveurs/cendres. Vector Sola dispose également d'un mode HPE (High Productivity Etch) qui augmente la vitesse de traitement jusqu'à trois fois supérieure à celle des autres systèmes du marché. D'autres caractéristiques uniques comprennent la technologie JetEtch qui fournit la gravure par plasma pulsé avec peu de décalage entre les pixels consécutifs. Cela permet de graver rapidement des tranchées profondes ou larges. L'outil a un certain nombre d'autres caractéristiques avantageuses telles que Argon Plasma Protection (APP) qui protège le substrat contre les fluctuations du débit de gaz, Auto-optimisation Excimer Laser (SEL) qui améliore l'énergie laser et la stabilité de la puissance, et avancé Scan Stage technologie de mouvement qui augmente la précision du processus. NOVELLUS Vector Sola est équipé d'une interface graphique conviviale (interface graphique) pour contrôler les opérations et les fonctionnalités, et de paramètres configurables pour une gravure et un cendrage optimaux. L'interface permet également aux utilisateurs de visualiser les progrès de gravure et d'ashing, ce qui est important pour un contrôle précis des processus. En outre, Vector Sola est optimisé pour le rapport coût-efficacité et peut effectuer avec précision les nettoyages post-gravure tels que les nettoyants humides, les cendres avant gravure et les gravures de sauts. La taille compacte de l'actif permet de réduire les coûts des modèles et d'automatiser les opérations de production de semi-conducteurs, comme l'autostaining, l'autostrip et l'autotransfert. NOVELLUS Vector Sola est un choix idéal pour les applications nécessitant une gravure laser multifaisceaux et une cendre avec un contrôle précis, une haute résolution et un débit élevé. C'est un équipement très polyvalent avec une gamme de paramètres configurables qui peuvent être facilement adaptés aux besoins des différents processus de production.