Occasion NOVELLUS Vector Sola #9285851 à vendre en France

NOVELLUS Vector Sola est un graveur/asher avancé conçu pour permettre une métrologie avancée et des modules de processus avancés pour des applications de gravure, d'ashing et de dépôt en phase vapeur (PVD) de haute précision. Vector Sola dispose d'une solution haute vitesse, haute précision et économique pour les applications avancées des procédés, offrant aux clients une solution optimale pour leurs besoins en matière de fixation et de dépôt. NOVELLUS Vector Sola est équipé d'un moniteur de 16 pouces pour une interface conviviale, un équipement de dépôt I- LID™, et un système de traitement de plaquettes QuikLoad™ pour obtenir un contrôle de processus supérieur pendant les dépôts et la gravure. En outre, Vector Sola offre une unité de placement de haute précision comprenant des algorithmes logiciels avancés pour le chargement et le déchargement précis et efficace des plaquettes. NOVELLUS Vector Sola utilise les dernières technologies dans les systèmes de gravure, de cendrage et de dépôt pour offrir des performances supérieures. Il est équipé d'une source RF/gamma avancée pour des performances de gravure supérieures, d'un four à tubes en quartz de 1150 ° C dédié aux applications ashing et d'une machine de traitement de plaquettes QuikLoad ™ unique pour le contrôle des processus. En outre, Vector Sola utilise un outil propriétaire de distribution de gaz qui permet de contrôler avec précision les flux de gaz réactifs pour des processus thermiques rapides. NOVELLUS Vector Sola comprend également une large gamme de détecteurs avancés et de composants de métrologie pour permettre des analyses précises et précises tout au long des processus de gravure, d'ashing et de dépôt. Un large éventail de détecteurs optiques tels que le réflectomètre QuickScans™ et l'actif de métrologie QuikGuage™ offrent une analyse précise et précise. Une étape de trempe spécialisée est également disponible pour plus d'uniformité, d'efficacité et de précision. Vector Sola dispose également d'un régulateur de débit de gaz configurable avec des régulateurs de débit massique de précision conçus pour fournir des débits précis et reproductibles. Ce modèle offre une mise sous pression élevée et un débit de gaz directionnel qui assure une perturbation précise du film ou de la couche désirée. Dans l'ensemble, NOVELLUS Vector Sola est un graveur/asher de haute performance doté de technologies de pointe, de métrologie de précision et de systèmes de contrôle des processus, offrant aux clients un choix supérieur pour les applications de gravure, de cendrage et de dépôt.