Occasion NOVELLUS Vector #167888 à vendre en France

NOVELLUS Vector est un équipement de gravure/cendres conçu pour l'industrie électronique. Il est capable de traiter un large éventail de matériaux, y compris les matériaux courants comme l'aluminium, le cuivre, le titane et les diélectriques complexes tels que les matériaux diélectriques bas-k. Vector est une machine à base de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), ce qui signifie qu'elle utilise des ions à haute température de gaz réactifs pour déposer des couches diélectriques et métalliques sur un substrat. Ce procédé est répété lorsque le substrat est déplacé par rapport à la source d'ions, ce qui conduit à des motifs complexes de dépôts métalliques et diélectriques avec des topographies précises. NOVELLUS Vector est capable de graver jusqu'à 500-Micrometers de profondeur dans les métaux et 200 micromètres dans les matériaux non métalliques. Il possède une caractéristique unique dans sa chambre sous vide de verre qui offre une homogénéité supérieure, des profondeurs de gravure uniformes, et d'excellentes vitesses d'usinage. Vector dispose d'un logiciel d'arc amélioré pour améliorer le contrôle et la répétabilité des processus ainsi que d'un outil automatisé contrôlé par une interface utilisateur graphique. Ce logiciel permet d'ajuster la pression et la température pour des applications spécifiques, et il existe des processus de gravure prédéfinis qui peuvent être configurés et appelés pour des tâches courantes. NOVELLUS Vector dispose également d'une vanne d'arrêt de gaz pour arrêter rapidement le processus de gravure, et d'un environnement à faible vibration qui réduit la micro-gravure et la déformation des motifs. Cela permet d'améliorer les taux de gravure, l'uniformité et la précision. Vector intègre une source multi-ION et un gestionnaire de substrat robotique, lui permettant de traiter jusqu'à 3 substrats à la fois. Il a également une capacité multi-chambres, permettant aux utilisateurs de graver et asher dans différentes chambres à vide. NOVELLUS Vector est capable de manipuler divers substrats, notamment des plaquettes, du métal et du verre. Vector intègre également le contrôle de la planéité des plaquettes et un système d'inspection des particules étrangères qui identifie les particules étrangères et rejette les substrats traités si nécessaire, assurant aux utilisateurs l'environnement de rendement le plus élevé. La zone de contrôle de température et la gestion des gaz de procédé de NOVELLUS Vector offrent un environnement plasmatique stable et d'excellentes caractéristiques de gravure/cendres. Un bain chimique supplémentaire peut également être utilisé pour des opérations de gravure et de cendres supplémentaires. Vector est une unité avancée de gravure/cendres conçue pour l'industrie électronique, offrant aux utilisateurs une large gamme de fonctionnalités qui sont conçues pour fournir un contrôle de processus supérieur et la répétabilité pour une variété de matériaux. Sa capacité multi-chambres, la commande d'arc améliorée par logiciel, et la machine étrangère d'inspection des particules fournissent aux utilisateurs un outil puissant et fiable pour leurs besoins de gravure/cendres.