Occasion NOVELLUS Vector #9167159 à vendre en France

NOVELLUS Vector est un graveur/asher de haute précision conçu pour des applications de gravure de précision, de cendrage et d'enlèvement de surface. Vector combine deux plates-formes d'équipement en un seul outil - un équipement de gravure et un système d'ashing - permettant aux utilisateurs de traiter des matériaux tels que Si, GaAs, quartz et verre avec des résultats en une seule étape. NOVELLUS Vector utilise également une technologie de gravure avancée, offrant des niveaux accrus de précision et de contrôle. Vector est idéal pour les profils gravés qui ont des rapports d'aspect élevés, une répétabilité de motif de tolérance serrée et une sélectivité de gravure élevée. Il peut traiter une variété de tailles de plaquettes, y compris 4, "6", et 8 ". NOVELLUS Vector possède également des caractéristiques qui le rendent bien adapté aux applications avancées de balisage, telles que le micromachinage, la microfabrication, la fabrication de circuits intégrés et le dépôt/gravure de métaux et de diélectriques. Le vecteur utilise la technologie de Rayon de DirectedCathodne (DCB) pour garantir gravent à l'eau forte haut des taux et une sélectivité matérielle optimale. La technologie DCB garantit également un profil précis, uniforme et très reproductible. Les utilisateurs de NOVELLUS Vector peuvent ajuster leurs paramètres de processus de gravure et leur flux de processus pour produire des caractéristiques uniformes qui fonctionnent en conjonction avec d'autres composants de gravure. Vector est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, comme une unité de livraison de produits chimiques blindés qui contient et met en quarantaine des matières corrosives et dangereuses, et un environnement sûr pour les matériaux de gravure diélectrique et métallique. La machine intègre également un outil de refroidissement laser pour la protection de la chambre de procédé et des plaquettes. NOVELLUS Vector est un outil idéal pour les applications de gravure, avec contrôle avancé, répétabilité et précision. Il est très fiable, nécessite un entretien minimal et produit des résultats de processus cohérents. Sa stabilité fiable des processus entraîne une augmentation du débit et des économies de coûts. Vector offre également un mélange unique de flexibilité et de convivialité, permettant aux utilisateurs d'optimiser leurs paramètres de processus et de flux de processus pour répondre à leurs besoins.